精密加工技術(shù)實用手冊

前言
總論
1精密加工和超精密加工范疇.特點.分類
1.1精密加工和超精密加工范疇
1.2精密加工和超精密加工的特點
1.3精密加工和超精密加工方法及其分類
2精密加工和超精密加工機理及工藝原則
2.1加工概念的擴展
2.2進化加工原則
2.3微量加工理論
3精密加工和超精密加工的體系結(jié)構(gòu)
3.1精密加工系統(tǒng)工程
3.2影響精密加工和超精密加工的因素
4精密加工和超精密加工的形成和發(fā)展
4.1精密加工和超精密加工的形成
4.2精密加工和超精密加工的需求
4.3精密加工和超精密加工的技術(shù)地位和作用
4.4精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢和技術(shù)前沿
第1篇精密切削.磨削及其機床
第1章精密加工常用材料
1.1精密加工對材料的要求
1.2精密加工對材料使用性能的要求
1.3精密加工對材料工藝性能的要求
2達到精密加工材料性能的工藝措施
2.1熱處理過程中的組織性能變化
2.2改善加工性能的熱處理
2.3提高力學(xué)性能的熱處理
2.4提高耐磨性.耐腐蝕性的表面處理技術(shù)
2.5消除應(yīng)力.穩(wěn)定組織的熱處理
3精密加工常用金屬材料
3.1碳素鋼和合金鋼
3.2鑄鐵
3.3有色金屬
4常用非金屬材料
4.1工程陶瓷
4.2工程塑料
4.3復(fù)合材料
4.4其他材料
第2章金剛石刀具超精密車削
1金剛石刀具超精密車削機理
1.1切削厚度與材料切應(yīng)力的關(guān)系
1.2材料缺陷及其對超精密車削的影響
1.3加工表面的形成與質(zhì)量
2金剛石刀具的設(shè)計和刃磨
2.1超精密車削對刀具的要求
2.2金剛石的性能
2.3金剛石的結(jié)構(gòu)
2.4金剛石晶體的面網(wǎng)
2.5金剛石晶體各晶向的性能
2.6金剛石原料的選取
2.7金剛石晶體的定向
2.8金剛石刀具的設(shè)計
2.9金剛石刀具的刃磨
3影響金剛石超精密車削的因素
3.1金剛石刀具
3.2被加工材料
3.3超精密車床
3.4工作環(huán)境
3.5測量技術(shù)
4金剛石刀具超精密車削工藝
4.1刀具的磨損和耐用度
4.2切削速度的選擇
4.3積屑瘤的生成規(guī)律
4.4刀具鋒銳度對切削變形和加工表面質(zhì)量的影響
4.5進給量和修光刃對加工表面粗糙度的影響
5金剛石刀具超精密車削的應(yīng)用及其發(fā)展
第3章精密磨削和超精密磨削
1概述
1.1精密和超精密磨料加工方法分類
1.2精密磨削和超精密磨削磨料
1.3精密磨具和超精密磨削磨具
2普通磨料砂輪精密磨削
2.1精密磨削及其機理
2.2精密磨削砂輪選擇
2.3精密磨床
2.4精密磨削時的砂輪修整
2.5精密磨削時的磨削用量
2.6精密磨削時的砂輪平衡
3超硬磨料砂輪精密磨削
3.1超硬磨料砂輪磨削特點及應(yīng)用范圍
3.2金剛石微粉砂輪精密磨削
3.3超硬磨料砂輪磨床
3.4超硬磨料砂輪精密磨削工藝
3.5超硬磨料砂輪修整
4超精密磨削
4.1超精密磨削的概念.特點和應(yīng)用
4.2超精密磨削機理
4.3超精密磨床
4.4超精密磨削工藝
5精密和超精密砂帶磨削
5.1砂帶磨削方式.特點和應(yīng)用范圍
5.2砂帶磨削加工機理
5.3精密砂帶磨床和砂帶磨削頭架
5.4精密砂帶磨削工藝
第4章光整加工
1光整加工的特點及類型
2研磨
2.1研磨特點和分類
2.2研磨機理和運動軌跡
2.3研具
2.4研磨劑
2.5研磨工藝參數(shù)
2.6研磨方法與研磨實例
2.7研磨的常見故障及排除方法
3拋光
3.1拋光機理與加工要素
3.2拋光輪
3.3拋光劑
3.4拋光工藝參數(shù)
3.5影響拋光表面質(zhì)量的因素
4珩磨
4.1珩磨原理及工藝特點
4.2珩磨頭
4.3工藝參數(shù)的選擇
4.4珩磨的切削過程
4.5珩磨液
4.6特種珩磨工藝
5超精加工
5.1超精加工原理及特點
5.2加工機理
5.3超精加工工藝參數(shù)與切削液
5.4超精加工頭和超精加工油石
5.5輪式超精磨
5.6無心外圓超精加工
6新型光整加工方法
6.1機械化學(xué)研磨
6.2磁力研磨
6.3非接觸研磨
6.4浮動拋光
6.5光合拋光
第5章超精密加工機床
1概述
1.1超精密機床發(fā)展現(xiàn)狀
1.2超精密機床的發(fā)展趨勢
2超精密加工機床的設(shè)計
2.1對超精密機床的要求和設(shè)計原則
2.2超精密機床的分類
2.3超精密機床的基本問題
3超精密機床的基礎(chǔ)元部件和結(jié)構(gòu)
3.1超精密機床的總體布局
3.2精密主軸部件
3.3床身和精密導(dǎo)軌部件
3.4微量進給裝置
3.5精密定位檢測元件
4典型超精密機床介紹
4.1半球車床
4.2半殼體車床
4.3Moore車床
4.4R-θ車床
4.52m鏡面車床
4.6LODTM大型光學(xué)金剛石車床
4.7DTM-3型大型超精密車床
4.8MSG-325型超精密車床
4.9OAGM2500大型超精密車床
4.10AHNIO型高效專用車削.磨削超精密機床
4.11超精密銑床
第2篇精密特種加工
第6章精密特種加工
1概述
1.1特種加工含義
1.2特種加工方法的種類
1.3特種加工的特點
1.4特種加工技術(shù)的應(yīng)用范圍
2電火花加工
2.1電火花加工的基本原理.特點及分類
2.2電火花加工的基本規(guī)律
2.3電火花成形加工設(shè)備
2.4工具電極
2.5電火花穿孔成形加工工藝
3電火花線切割加工
3.1電火花線切割加工原理原理.分類.特點及應(yīng)用范圍
3.2電火花線切割加工設(shè)備
3.3電極絲
3.4電火花線切割工藝
4電解加工
4.1電解加工基本原理.特點及應(yīng)用
4.2電解加工中的基本規(guī)律
4.3電解加工機床
4.4電解質(zhì)溶液
4.5電解加工工藝方法
4.6電解磨削
4.7電鍍加工
5電子束加工
5.1電子束的熱效應(yīng)及其加工
5.2電子束的化學(xué)效應(yīng)及其加工
5.3電子束加工裝置
5.4電子束加工的特點及應(yīng)用
6離子束加工
6.1離子束的力效應(yīng)及濺射現(xiàn)象
6.2離子束加工方法
6.3離子束加工裝置
6.4離子束加工的特點及應(yīng)用
7激光束加工
7.1激光的產(chǎn)生過程及特性
7.2激光束加工機理
7.3激光束加工方法
7.4激光束加工設(shè)備
7.5激光束加工的特點及應(yīng)用
8光刻加工
8.1工作原版制作
8.2光刻
9超聲加工
9.1超聲加工的基本原理和特點
9.2超聲加工設(shè)備
9.3超聲加工工藝
9.4超聲加工的應(yīng)用
第3篇微細加工與微型機械
第7章微細加工技術(shù)
1半導(dǎo)體微細加工技術(shù)
1.1氧化.摻雜與沉積
1.2刻蝕
1.3加工實例
2LIGA工藝
3特點微細加工技術(shù)
3.1微細電火花加工
3.2光成形微細加工
3.3其他微細加工方法
4粘接裝配技術(shù)
4.1粘接技術(shù)
4.2微操作裝配技術(shù)
第8章微型機械與微型機電系統(tǒng)
1概述
2微型傳感器
2.1微型壓力和流量傳感器
2.2微型加速度傳感器
2.3微型陀螺儀
3微型致動器
3.1微型旋轉(zhuǎn)/角位移致動器
3.2微型直線/振動型致動器
4微量流體控制器件與系統(tǒng)
4.1微型閥
4.2微型泵
4.3微量流體控制系統(tǒng)
第4篇精密測量和質(zhì)量保證
第9章精密測量技術(shù)
1精密測量原理
1.1測量的一般概念
1.2精密測量原理
1.3制定測量方案時應(yīng)考慮的若干因素
2典型幾何量的測量方法與儀器
2.1常見的幾何量測量儀器
2.2軸類零件的測量
2.3孔類零件的測量
2.4錐度測量
2.5螺旋線的測量
2.6漸開線的測量
3典型物理量的精密測量方法與儀器
3.1常用的力學(xué)性能測試
3.2振動性能檢測
4精密測量的精度分析
4.1測量誤差的來源分析
4.2評定測量精度的兩個綜合性指標
4.3精密測量中的誤差理論
5典型精密測量系統(tǒng)簡介
5.1雙頻激光外差干涉儀及應(yīng)用
5.2圓度儀及圓度測量
5.3三坐標測量機
5.4莫爾條紋技術(shù)
第10章微尺寸測量技術(shù)
1微小尺寸測量的概念和特點
2微位移的測量
2.1光干涉法微位移的測量
2.2外差干涉輪廓測量
3平面度和表面粗糙度的測量
3.1平面度誤差的測量和數(shù)據(jù)處理
3.2表面粗糙度的測量及儀器
4微細圖形尺寸的測量
4.1比較測量
4.2直接測量
5臺階.膜厚的測量及其他
5.1臺階測量
5.2膜層厚度測量
第11章微位移技術(shù)
1概述
1.1微位移機構(gòu)的分類
1.2微位移系統(tǒng)的應(yīng)用
2微位移機構(gòu)的原理
2.1壓電.電致伸縮器件
2.2電磁驅(qū)動器件
2.3電熱式微位移機構(gòu)
2.4機械式微位移機構(gòu)
3柔性鉸鏈
3.1柔性鉸鏈的類型及特點
3.2柔性鉸鏈的設(shè)計
4精密微動工作臺的設(shè)計及其特性分析
4.1精密微動工作臺的設(shè)計要求
4.2精密微動工作臺設(shè)計中的幾個問題
4.3精密微動工作臺的設(shè)計
5常用的微動工作臺簡介
5.1柔性支承-壓電或電致伸縮微位移驅(qū)動器驅(qū)動的微動工作臺
5.2平行彈簧導(dǎo)軌
5.3滾動導(dǎo)軌-壓電器件驅(qū)動
5.4氣浮導(dǎo)軌
第12章誤差的在線檢測與補償技術(shù)
1概述
1.1先進制造技術(shù)及其發(fā)展
1.2先進制造系統(tǒng)中的質(zhì)量監(jiān)控技術(shù)
1.3影響加工精度的因素
1.4保證加工精度的途徑
2誤差檢測技術(shù)
2.1誤差檢測技術(shù)簡述
2.2位稱量的檢測
2.3機械加工
3誤差補償技術(shù)
3.1幾何誤差的補償
3.2熱誤差的補償
3.3機床誤差的其他補償方法
4在線檢測與補償系統(tǒng)舉例
4.1阿貝誤差實時修正系統(tǒng)
4.2機床熱誤差的測量與補償
第13章精密和超精密加工的支持環(huán)境
1空氣的環(huán)境和熱環(huán)境
1.1空氣環(huán)境
1.2熱環(huán)境
1.3潔凈室
1.4分層次的局部環(huán)境
2振動環(huán)境
2.1振動干擾的影響
2.2振動干擾的消除
2.3隔振器的隔振原理
2.4隔振元器件
3噪聲環(huán)境
3.1噪聲及其影響
3.2噪聲源
3.3噪聲控制
4其他環(huán)境
4.1光環(huán)境
4.2靜電環(huán)境
5精密和超精密加工的環(huán)境設(shè)施
第5篇典型精密元件加工
第14章精密基準件加工
1精密平板和直角尺加工
1.1精密平板的加工
1.2精密直角尺的加工
2精密分度板(盤)加工
2.1精密分度板的技術(shù)要求
2.2精密分度板的加工工藝
2.3精密分度方法
3精密球加工
3.1球面研磨原理
3.2四軸自動球面研磨原理
參考文獻