等離子體電子工程學

定　價：￥12.00

作　者：	（日）菅井秀郎編著；張海波，張丹譯
出版社：	OHM社
叢編項：	21世紀大學新型參考教材系列
標　簽：	電子其他

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ISBN：	9787030099860	出版時間：	2005-01-01	包裝：	平裝
開本：	21cm	頁數：	159	字數：

內容簡介

　　本書是21世紀大學新型參考教材系列之一，書中主要講解等離子體中的微觀運動，等離子體的宏觀性質，氣體放電與等離子體的形成，等離子體的生成方法，等離子體在電子、環(huán)境工程中的應用等。本書作者均為工作在專業(yè)教學、科研第一線的專家教授。書中內容新穎、重點突出，文字敘述深入淺出、流暢易懂。書中穿插有“篇外話”可作為正文內容的補充說明。各章末均有練習題，書后附有練習題解答。本書可供大學生、碩士生及科技工作者閱讀參考。

作者簡介

　　本書提供作譯者介紹菅井秀郎.編著，執(zhí)筆：1～4章，6章，7章1971年東北大學研究生院工學研究科博士畢業(yè)1971年獲工學博士現在名古層大學研究生院工學研究科教授大江一行執(zhí)筆：5章1966年名古層工業(yè)大學研究生院工學研究科碩士畢業(yè)1975年獲工學博士現在名古層工業(yè)大學生產系統(tǒng)工程專業(yè)教授張海波..1982年西安交通大學電子工程系畢業(yè)1987年西安交通大學電子物理與器件專業(yè)，獲工學碩士1995年日本大阪大學工學研究科博士研究生畢業(yè)，獲工學博士現在西安交通大學電子科...

圖書目錄

1 等離子體電子學的學習方法
1.1等離子體概述
1.2等離子體的各種性質
1.3等離子體的應用
1.4本書的構成
練習題
2 等離子體中的微觀運動
2.1單個粒子的運動
2.2粒子間的碰撞
2.3彈性碰撞中的能量損失
2.4原子的激發(fā)與電離
2.5分子的激發(fā)與離解、電離
練習題
3 等離子體的宏觀性質
3.1分布函數與平均量
3.2等離子體基本方程
3.3等離子體的電中性
3.4粒子流動與密度分布
3.5等離子體鞘層
3.6能量平衡與粒子數平衡
練習題
4 氣體放電與等離子體的形成
4.1氣體的絕緣擊穿――湯生的實驗和理論
4.2放電起始電壓――帕邢定律
4.3氣體放電中的等離子體狀態(tài)
4.4湯生理論的局限性
練習題
5 等離子體的生成方法Ⅰ――直流放電
5.1各種放電方法與放電模式
5.2輝光放電與低溫等離子體
5.3電弧放電與熱等離子體
5.4電暈放電與高氣壓低溫等離子體
5.5磁控管放電
練習題
6 等離子體的生成方法Ⅱ――高頻放電、微波放電
6.1等離子體生成與天線耦合
6.2平行板加RF電壓――電容耦合等離子體
6.3線圈通RF電流――感應耦合等離子體
6.4等離子體中的波
6.5強電波照射――表面波等離子體
6.6使用磁場中的波――ECR等離子體和螺旋波等離子體
練習題
7 等離子體在電子、環(huán)境工程中的應用
7.1LSI制造工藝中的等離子體刻蝕法
7.2非晶硅薄膜的等離子體CVD制備法
7.3等離子體顯示器件的工作原理
7.4利用等離子體的環(huán)境改善技術
練習題
練習題解答
參考文獻
附錄
篇外話
“等離子體”名稱的由來
原子的內部狀態(tài)和光譜標記
朗繆爾探針
流注的形成
表面磁場對等離子體的約束作用
朗道衰減與回旋衰減
用強光生成等離子體