抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)

　　本書以作為微電子器制造時(shí)的核心的抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)為對象，就其定義、沿革、工藝、反應(yīng)理論、配套技術(shù)、各類抗蝕劑、分析測試及應(yīng)用、展望等進(jìn)行了全面詳述。

暫缺《抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)》作者簡介