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真空沉積技術

真空沉積技術

定　價：￥7.45

作　者： 李學丹等編著
出版社： 浙江大學社
叢編項：
標　簽： 真空治積
ISBN： 9787308013260 出版時間： 1994-08-01 包裝： 平裝
開本： 26cm 頁數(shù)： 字數(shù)：  

內容簡介

　　本書內容有：真空與低溫等離子體物理基礎、成膜技術、薄膜的檢測與分析等。

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