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離子束技術(shù)及應(yīng)用

離子束技術(shù)及應(yīng)用

定　價(jià)：￥15.80

作　者： 劉金聲編著
出版社： 國防工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽： 離子束
ISBN： 9787118013122 出版時(shí)間： 1995-01-01 包裝：
開本： 21cm 頁數(shù)： 315頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書分六章：電子轟擊離子源等離子體特性及設(shè)計(jì)基礎(chǔ); 離子光學(xué)系統(tǒng)及基本設(shè)計(jì)方法; 離子源結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化法; 離子源陰極的設(shè)計(jì)方法; 離子束刻蝕（IBE）工藝基礎(chǔ); IBE在器件制造中的應(yīng)用.

作者簡介

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