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微電子生產(chǎn)工藝實用手冊

微電子生產(chǎn)工藝實用手冊

定　價：￥10.50

作　者： 王家源，劉長恩主編
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 微電子技術(shù)
ISBN： 9787505315273 出版時間： 1992-06-01 包裝：
開本： 20cm 頁數(shù)： 437頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書共收入了微電子產(chǎn)品制造技術(shù)、生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)裝置、成套設(shè)備、檢測儀器、原輔材料、輔助設(shè)施、工具及零部件等方面的詞條900余條，并附漢-英和英-漢詞條索引。

作者簡介

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