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微細(xì)加工技術(shù)

微細(xì)加工技術(shù)

定　價(jià)：￥3.35

作　者： 蔣欣榮編著
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)： 高等學(xué)校教材
標(biāo)　簽： 特種加工
ISBN： 9787505308619 出版時(shí)間： 1990-06-01 包裝：
開本： 20cm 頁數(shù)： 405頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書介紹了利用電子束、離子束、光子束、原子束、等離子體、超聲等手段，對(duì)不同材料進(jìn)行各種光刻、刻蝕、制膜、摻雜、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微細(xì)加工的原理、方法和工藝過程等。

作者簡介

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