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內(nèi)容簡介

　　微型機械，即微機電系統(tǒng)（micro electronmechanical system），是20世紀末興起的、21世紀初快速發(fā)展的高科技前沿領域?！陡咚酱髮W重點學科建設教材：微型機械導論（微機電系統(tǒng)類）》共11章，較全面、系統(tǒng)地介紹了微型機械及其發(fā)展歷史，怎樣制作微型機械。用通俗易懂的語言，分別介紹了用傳統(tǒng)的超精密加工方法、半導體工藝加工方法和一些有發(fā)展前景的加工方法，特別對最常用的硅的體微型機械加工和表面微型機械加工做了較詳細的介紹：介紹了微型傳感器、微型執(zhí)行器和微系統(tǒng)以及典型的實例；重點介紹了微型機械的設計、建模和檢測技術：展望了微型機械的未來，對基礎研究、制作工藝等各方面的發(fā)展做了闡述；此外，還介紹了國外對微型機械人才的培養(yǎng)情況。作為填補國內(nèi)空缺的入門教材，《高水平大學重點學科建設教材：微型機械導論（微機電系統(tǒng)類）》的特點是：立足學科發(fā)展前沿，內(nèi)容豐富多彩，深入淺出，通俗易懂，圖文并茂；信息量大，覆蓋面廣?！陡咚酱髮W重點學科建設教材：微型機械導論（微機電系統(tǒng)類）》可作本學科本科教育教材和研究生的參考書，也可作為相關科技工作者、管理人員和其他感興趣讀者的參考資料。

作者簡介

暫缺《微型機械導論》作者簡介

圖書目錄

第1章初識微型機械
1.1 一個引人入勝的話題
1.1.1 從童話中的小人國談起
1.1.2 科幻小說中的微型機械
1.1.3 微型科技的曙光
1.2 小機械，大機會
1.2.1 歷史的回顧
1.2.2 關于微型機械的起源
1.2.3 微型科技為什么如此受歡迎
1.2.4 小機械包含著大課題
1.3 什么是微機電系統(tǒng)
1.4 有關的國際刊物、會議和網(wǎng)站
參考文獻
第2章怎樣制作微型機械（一）——傳統(tǒng)的超精密加工方法
2.1 概述
2.1.1 微型機械加工的特點
2.1.2 常用的微型機械加工方法的分類
2.2 利用超精密加工工具加工微型器材
2.2.1 微細磨削加工
2.2.2 微細磨料加工
2.2.3 微細放電加工（MEDM）
2.2.4 金屬絲放電磨削加工（QEDG）
2.3 特種加工工藝
2.3.1 激光束微細加工技術
2.3.2 電子束微細加工技術
2.3.3 聚焦離子束（FIB）微細加工技術
參考文獻
第3章怎樣制作微型機械（二）——微型機械中常用的IC工藝
3.1 概述
3.2 IC工藝的主要步驟
3.2.1 晶體生長和晶片制備（Crystal Growth and Wafering）
…………
第4章怎樣制作微型機械（三）——硅微結構制作工藝
第5章怎樣制作微型機械（四）——一些有發(fā)展前景的工藝
第6章微型傳感器
第7章微型執(zhí)行器
第8章微結構與微系統(tǒng)
第9章微型機械的設計和建模
第10章微型機械的檢測技術
第11章展望微型機械的未來
附錄微型機械常用詞匯（英漢對照）