金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測(cè)試與工藝

　　本書較詳盡的敘述了集成電路中歐姆接觸的形成原理，測(cè)量方法和制造工藝、分析了歐姆接觸在形成和使用過程中發(fā)生的界面冶金反應(yīng)及其對(duì)接觸電阻的影響等。

暫缺《金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測(cè)試與工藝》作者簡(jiǎn)介