金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測試與工藝

　　本書較詳盡的敘述了集成電路中歐姆接觸的形成原理，測量方法和制造工藝、分析了歐姆接觸在形成和使用過程中發(fā)生的界面冶金反應(yīng)及其對接觸電阻的影響等。

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