本書主要講述一些重要半導體器件的基本工作原理和特性,力求概念闡述清晰和理論聯(lián)系實際,同時盡可能反映出器件發(fā)展的動向。由于納米電子器件的飛速發(fā)展和未來潛在的重大作用,所以本書對此專門作為一個部分進行了簡要的介紹。近年來,MEMS(微電子機械系統(tǒng))器件的出現(xiàn)極大擴展了微電子學領域研究的范疇,本書中簡要介紹了MEMS器件的主要特點和發(fā)展趨勢,希望拋磚引玉,能夠對國內MEMS器件的發(fā)展起到一定作用;另外,由于計算機用于半導體器件分析、模擬和設計的重要性,所以我們也專門對此有關的內容作了比較仔細的介紹。本書可供研制微電子器件及其電路的科技人員參考,也可以供微電子本科生或研究生教學參考之用。