微機電系統(tǒng)技術,是在20世紀80年代后期國際上興起的一項高新技術。本書先由微機電系統(tǒng)入手,然后介紹微弱信號檢測的一些背景知識,重點闡述了微弱信號檢測的方法與技術,以及針對微器件不同的檢測方式,詳述其檢測原理與檢測方法,最后選取典型的微器件介紹了其微弱信號檢測的實用電路。本書內容翔實,理論聯(lián)系實際,可操作性強,既可作為涉及電子噪聲、低噪聲設計、電磁兼容性、微弱信號檢測的工程技術人員參考讀物,又可作為微電子、自動化、電子工程、物理、生物醫(yī)學工程、測試技術與儀器等專業(yè)的研究生和高年級本科生教材。本書主要闡述微機電系統(tǒng)中微器件的微弱信號檢測技術。本書先由微機電系統(tǒng)入手,然后介紹微弱信號檢測的一些背景知識,重點闡述了微弱信號檢測的方法與技術,以及針對微器件不同的檢測方式,詳述其檢測原理與檢測方法,最后選取典型的微器件介紹了其微弱信號檢測的實用電路。本書可作為微電子、自動化、電子工程、物理、生物醫(yī)學工程、測試技術與儀器等專業(yè)的研究生和高年級本科生教材,也可作為涉及電子噪聲、低噪聲設計、電磁兼容性、微弱信號檢測的工程技術人員參考讀物。