微傳感器：原理技術(shù)及應(yīng)用

第1章 緒論
1.1 傳感器的分類
1.2 傳感器的理想特性和實(shí)際限制
1.3 傳感器的信號(hào)獲取及接口
1.3.1 電阻、電容及電感的測(cè)量
1.3.2 接口電路
1.3.3 頻率轉(zhuǎn)換
1.3.4 數(shù)字傳輸
第2章 機(jī)械微傳感器
2.1 機(jī)械微傳感器的測(cè)試參量
2.2 硅微結(jié)構(gòu)的機(jī)械性能
2.3 位移微傳感器
2.3.1 基本概念
2.3.2 電容和電感式位移微傳感器
2.3.3 光學(xué)位移微傳感器
2.3.4 超聲波位移微傳感器
2.3.5 熱電及其他位移微傳感器
2.3.6 小結(jié)
2.4 速度和流速微傳感器
2.4.1 基本概念
2.4.2 熱式流速微傳感器
2.4.3 電容式流量微傳感器
2.4.4 共振微橋式流量微傳感器
2.5 加速度微傳感器
2.5.1 基本概念
2.5.2 壓阻式微加速度計(jì)
2.5.3 電容和力平衡式微加速度計(jì)
2.5.4 性能比較
2.6 力、壓強(qiáng)和應(yīng)變微傳感器
2.6.1 基本概念
2.6.2 力微傳感器
2.6.3 應(yīng)力敏感的電子器件
2.6.4 壓強(qiáng)微傳感器
2.6.5 應(yīng)變微傳感器
2.7 質(zhì)量微傳感器
2.7.1 基本概念
2.7.2 壓電式質(zhì)量微傳感器
2.7.3 表面聲波諧振微傳感器
2.8 其他機(jī)械參數(shù)的測(cè)試
2.8.1 粗糙度與形狀
2.8.2 粘度與密度
2.8.3 聲與超聲微傳感器
第3章 熱微傳感器
3.1 引言
3.2 基本概念及定義
3.2.1 基本術(shù)語(yǔ)
3.2.2 熱交換的形式
3.3 非接觸溫度測(cè)量
3.4 熱機(jī)械傳感器
3.5 熱敏電阻
3.5.1 熱阻效應(yīng)
3.5.2 金屬熱敏電阻
3.5.3 半導(dǎo)體熱敏電阻
3.6 熱二極管
3.6.1 基本原理
3.6.2 集成的熱二極管
3.7 熱晶體管
3.7.1 基本原理
3.7.2 集成的熱晶體管
3.8 熱電偶
3.9 其他電測(cè)量的熱微傳感器
3.9.1 熱開(kāi)關(guān)
3.9.2 微熱量計(jì)
3.10 其他非電測(cè)量的熱微傳感器
3.10.1 溫度計(jì)
3.10.2 溫度指示器和光纖傳感器
3.10.3 表面聲波溫度微傳感器
3.11 性能比較和商品器件
3.11.1 常用熱微傳感器的性能比較
3.11.2 熱微傳感器商品
第4章 磁微傳感器
4.1 霍爾效應(yīng)器件
4.1.1 霍爾效應(yīng)和霍爾器件的工作原理
4.1.2 霍爾傳感器的設(shè)計(jì)及霍爾材料
4.1.3 MOS霍爾片
4.1.4 集成霍爾器件
4.2 半導(dǎo)體磁阻效應(yīng)及其器件
4.3 磁敏二極管和磁敏三極管
4.3.1 磁敏二極管
4.3.2 磁敏三極管
4.4 磁通門微磁強(qiáng)計(jì)
4.5 隧道效應(yīng)磁強(qiáng)計(jì)
4.6 超導(dǎo)量子干涉磁強(qiáng)計(jì)
4.7 磁阻和巨磁電阻材料及其器件
4.7.1 磁阻效應(yīng)器件
4.7.2 巨磁電阻傳感器
第5章 光微傳感器與輻射微傳感器
5.1 概述
5.1.1 核輻射與電磁輻射
5.1.2 輻射的度量
5.1.3 輻射傳感器的分類
5.2 核輻射微傳感器
5.2.1 基于電離的探測(cè)器
5.2.2 閃爍探測(cè)器
5.2.3 直接固態(tài)輻射探測(cè)器
5.2.4 其他的探測(cè)器類型
5.3 光學(xué)微傳感器
5.3.1 概述
5.3.2 直接光學(xué)微傳感器
5.3.3 間接光學(xué)微傳感器
5.3.4 生物光學(xué)微傳感器
第6章 聲波微傳感器
6.1 引言
6.1.1 聲波技術(shù)和壓電效應(yīng)
6.1.2 聲波的傳播
6.2 用于聲波傳感器的壓電材料
6.2.1 壓電體材料
6.2.2 壓電薄膜材料
6.3 聲波的探測(cè)
6.4 聲波微傳感器的類型
6.4.1 體聲波微傳感器
6.4.2 表面聲波微傳感器
6.5 實(shí)用的聲波微傳感器
6.5.1 加速度微傳感器
6.5.2 溫度微傳感器
6.5.3 壓力微傳感器
6.5.4 扭矩微傳感器
6.5.5 質(zhì)量（重量）微傳感器
6.5.6 露點(diǎn)（濕度）微傳感器
6.5.7 化學(xué)蒸氣微傳感器
6.5.8 生物微傳感器
第7章 化學(xué)生物微傳感器
7.1 化學(xué)生物微傳感器的一些基本概念
7.1.1 化學(xué)生物微傳感器的定義
7.1.2 生物化學(xué)傳感器的分類
7.2 電阻式化學(xué)微傳感器
7.2.1 引言
7.2.2 金屬氧化物氣體傳感器
7.2.3 有機(jī)材料氣體微傳感器
7.3 化學(xué)電容器
7.4 化學(xué)二極管
7.4.1 無(wú)機(jī)肖特基器件
7.4.2 有機(jī)肖特基器件
7.5 化學(xué)三極管
7.5.1 金屬氧化物場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)氣體傳感器
7.5.2 離子選擇場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFETs)
7.6 熱化學(xué)微傳感器
7.6.1 電熱調(diào)節(jié)器
7.6.2 Pellistor氣體傳感器
7.6.3 熱電偶?xì)怏w傳感器
7.7 質(zhì)量敏感型化學(xué)微傳感器
7.7.1 壓電型器件
7.7.2 表面聲波（SAW）生化微傳感器
7.8 化學(xué)微傳感器的應(yīng)用
7.9 化學(xué)微傳感器最新進(jìn)展
第8章 集成傳感器、智能傳感器及靈巧傳感器
8.1 集成傳感器、智能傳感器及靈巧傳感器的一般定義
8.2 測(cè)量控制系統(tǒng)的組成和功能
8.2.1 總線結(jié)構(gòu)傳感系統(tǒng)
8.2.2 傳感節(jié)點(diǎn)結(jié)構(gòu)及界面標(biāo)準(zhǔn)
8.2.3 傳感器的補(bǔ)償
8.3 接口電路
8.3.1 基本模塊
8.3.2 電阻式傳感器的接口電路
8.3.3 電容式傳感器的接口電路
8.4 集成傳感器的制備技術(shù)
8.4.1 集成電路制備技術(shù)的回顧
8.4.2 常規(guī)技術(shù)和要求
8.5 靈巧傳感器的設(shè)計(jì)
8.5.1 電路的功能
8.5.2 集成度
8.5.3 信號(hào)處理的集成
8.5.4 自校準(zhǔn)微傳感器
8.5.5 自測(cè)試微傳感器
8.5.6 多功能微傳感器
8.6 靈巧傳感器的應(yīng)用實(shí)例
8.6.1 多元件靈巧氣體分析儀
8.6.2 監(jiān)測(cè)水質(zhì)的靈巧傳感系統(tǒng)
8.6.3 溫控表面聲波靈巧氣體傳感器
第9章 微傳感器陣列及微傳感器網(wǎng)絡(luò)
9.1 微傳感器陣列器件的定義和基本設(shè)想
9.1.1 微傳感器陣列器件的定義
9.1.2 陣列傳感器的功能
9.2 輻射陣列傳感器
9.2.1熱陣列傳感器
9.2.2光陣列傳感器
9.3 機(jī)械陣列傳感器
9.4 磁陣列傳感器
9.5 化學(xué)陣列傳感器
9.5.1 基本原理
9.5.2 氣體傳感器陣列
9.5.3 氣味傳感器陣列
9.6 微傳感器網(wǎng)絡(luò)