《微機電系統(tǒng)集成與封裝技術基礎》主要介紹微機電系統(tǒng)集成與封裝技術。全書包括三個部分,分別為:微機電系統(tǒng)集成技術基礎、微機電系統(tǒng)封裝技術基礎、微機電系統(tǒng)集成與封裝的應用。書中系統(tǒng)地敘述了微機電系統(tǒng)集成設計與封裝技術的概念、體系結構、典型系統(tǒng)、所用的先進技術以及未來的發(fā)展趨勢;書中對近年來國外微機電系統(tǒng)集成與封裝最新技術動態(tài)加以歸納總結,對相關理論、技術進行深刻的闡述與分析。并以大量、詳實的案例,在完整的微機電系統(tǒng)集成與封裝知識體系下,面向應用,服務社會。《微機電系統(tǒng)集成與封裝技術基礎》可供微電子、微電系統(tǒng)等領域專業(yè)研究以及機械、物理和材料方面研究人員參考,亦可作為相關專業(yè)高年級本科生、研究生教材。