薄膜材料：應(yīng)力、缺陷的形成和表面演化

第1章 引言和總論
　1.1 薄膜組態(tài)分類
　1.2 薄膜沉積方法
　1.3 氣相沉積薄膜的生長(zhǎng)方式
　1.4 薄膜微觀結(jié)構(gòu)
　1.5 微電子結(jié)構(gòu)的制備
　1.6 MEMS的結(jié)構(gòu)制備
　1.7 薄膜應(yīng)力源
　1.8 多晶體薄膜的生長(zhǎng)應(yīng)力
　1.9 薄膜應(yīng)力的后果
　1.10 習(xí)題
第2章 薄膜應(yīng)力和基底曲率
　2.1 Storey方程
　2.2 薄膜厚度對(duì)雙層薄膜曲率的影響
　2.3 曲率測(cè)量方法
　2.4 層狀和成分梯度薄膜
　2.5 幾何非線性變形范圍
　2.6 平衡形狀的分叉
　2.7 習(xí)題
第3章 各向異性和圖形薄膜中的應(yīng)力
　3.1 彈性各向異性
　3.2 立方晶體的彈性常數(shù)
　3.3 非立方晶體的彈性常數(shù)
　3.4 層狀外延生長(zhǎng)材料的彈性應(yīng)變
　3.5 一般錯(cuò)配應(yīng)變的薄膜應(yīng)力
　3.6 薄膜應(yīng)力的X射線衍射測(cè)量
　3.7 各向異性薄膜引起的基底曲率
　3.8 壓電薄膜
　3.9 平行薄膜裂紋的周期排列
　3.10 平行線或條紋的周期排列
　3.11 圖形薄膜中應(yīng)力的測(cè)量
　3.12 習(xí)題
第4章 脫層和斷裂
第5章 薄膜的翹曲、鼓包和剝離
第6章 外延系統(tǒng)中的位錯(cuò)形成
第7章 位錯(cuò)交互作用和應(yīng)變馳豫
第8章 表面的平衡和穩(wěn)定性
第9章 應(yīng)力在傳質(zhì)中的作用
參考文獻(xiàn)
英漢名詞索引