等離子體放電原理與材料處理

第1章　概述
　1.1　材料處理
　1.2　等離子體和鞘層
　　1.2.1　等離子體　
　　1.2.2　鞘層　
　1.3　放電
　　1.3.1　射頻二極放電系統(tǒng)
　　1.3.2　高密度等離子體源
　1.4　符號和單位
第2章　等離子體的基本方程和平衡態(tài)性質(zhì)
　2.1　引言
　2.2　場方程、電流和電壓
　　2.2.1　麥克斯韋方程組
　2.3　守恒方程
　　2.3.1　玻爾茲曼方程
　　2.3.2　宏觀量
　　2.3.3　粒子數(shù)守恒方程　
　　2.3.4　動量守恒方程
　　2.3.5　能量守恒方程
　　2.3.6　小結(jié)
　2.4　平衡態(tài)性質(zhì)
　　2.4.1　玻爾茲曼關(guān)系式
　　2.4.2　德拜長度
　　2.4.3　準(zhǔn)電中性
　習(xí)題
第3章　原子碰撞
　3.1　基本概念
　　3.1.1　彈性和非彈性碰撞
　　3.1.2　碰撞參數(shù)
　　3.1.3　微分散射截面
　3.2　碰撞動力學(xué)
　　3.2.1 質(zhì)心坐標(biāo)系
　　3.2.2 能量轉(zhuǎn)移
　　3.2.3 小角度散射
　3.3 彈性散射
　　3.3.1 庫侖碰撞
　　3.3.2 極化散射
　3.4 非彈性碰撞
　　3.4.1 原子能級
　　3.4.2 電偶極輻射和亞穩(wěn)態(tài)原子
　　3.4.3 電子碰撞電離截面
　　3.4.4 電子碰撞激發(fā)截面
　　3.4.5 離子一原子電荷轉(zhuǎn)移
　　3.4.6 離子一原子碰撞電離
　3.5 求分布函數(shù)下的平均值和表面效應(yīng)
　　3.5.1 麥克斯韋分布下的平均值
　　3.5.2 每產(chǎn)生一個電子一離子對所造成的能量損失
　　3.5.3 表面效應(yīng)
　習(xí)題
第4章 等離子體動力學(xué)
　4.1 基本運(yùn)動
　　4.1.1 在均勻常場中的運(yùn)動
　　4.1.2 E×B漂移
　　4.1.3 能量守恒
　4.2 非磁化等離子體動力學(xué)
　　4.2.1 等離子體振蕩
　　4.2.2 介電常數(shù)和電導(dǎo)率
　　4.2.3 歐姆加熱
　　4.2.4 電磁波
　　4.2.5 靜電波
　4.3 導(dǎo)向中心運(yùn)動
　　4.3.1 平行力
　　4.3.2 磁矩的絕熱不變性
　　4.3.3 沿磁力線運(yùn)動產(chǎn)生的漂移（曲率漂移）
　　4.3.4 由回旋運(yùn)動產(chǎn)生的漂移（梯度漂移）
　　4.3.5　極化漂移
……
第5章　擴(kuò)散和輸運(yùn)
第6章　直流鞘層
第7章　化學(xué)反應(yīng)和平衡
第8章　分子磁撞
第9章　化學(xué)動力學(xué)與表面過程
第10章　放電過程中的粒子平衡和能量平衡
第11章　容性放電
第12章　感性放電
第13章　波加熱的氣體放電
第14章　直流放電
第15章　刻蝕
第16章　沉積與注入
第17章　塵埃等離子
第18章　氣體放電的動理論
附錄A　碰撞動力學(xué)
附錄B　碰撞積分
附錄C　變遷移率模型中的擴(kuò)散方程的解
參考文獻(xiàn)