潔凈室的檢測與運行管理

第1章 潔凈室的檢測類別與項目
1.1 潔凈室檢測的類別
1.2 潔凈室的竣工驗收
1.2.1 竣工驗收的外觀檢查
1.2.2 竣工驗收的調(diào)試工作
1.2.3 竣工驗收的檢測項目
1.2.4 竣工驗收所需文件
1.3 潔凈室綜合性能評價
1.3.1 ISO-14644 所規(guī)定的檢測項目
1.3.2 NEBB所規(guī)定的檢測項目
1.3.3 國內(nèi)相關(guān)標準所規(guī)定的測試項目
1.4 潔凈室的性能監(jiān)測
1.4.1 國際標準 ISO 14644-2的規(guī)定
1.4.2 國家標準 GB 50073-2001關(guān)于監(jiān)測的規(guī)定
1.5 潔凈室測試時所處的狀態(tài)
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第2章 空氣中懸浮粒子的測試
2.1 測試的準備工作
2.2 采樣點的位置及數(shù)量
2.3 各采樣點的單次采樣量
2.4 空氣中懸浮粒子濃度的采樣及數(shù)據(jù)整理
2.4.1 空氣中懸浮粒子濃度的統(tǒng)計計算原則
2.4.2 一個采樣點平均數(shù)字濃度（Xi）的計算方法
2.4.3 95％置信上限的計算方法
2.5 潔凈度級別的計算例題
2.5.1 例題1
2.5.2 例題2
2.6 空氣中懸浮粒子的一些特殊檢測方法
2.6.1 順序采樣法
2.6.2 空氣中懸浮超微粒子和宏粒子計數(shù)
附錄1 ISO 14644 潔凈度及潔凈區(qū)按所定懸浮粒子的潔凈度分級
附錄2 ISO 14644 潔凈度分級的粒子濃度限值圖
附錄3 國家標準GB 50073-2001 潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級
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第3章 潔凈室、潔凈區(qū)的氣流、壓差與檢漏測試
3.1 氣流測試
3.1.1 單向流潔凈室或設(shè)施的風速測定
3.1.2 用風罩法測定非單向流潔凈室或設(shè)施的風量
3.1.3 非單向流潔凈室的其他風量測定方法
3.1.4 風速、風量測試評定標準
3.1.5 單向流風速測定例題
3.2 壓差測試
3.3 高效過濾器檢漏
3.3.1 當高效過濾器安裝在頂棚、墻上或設(shè)備上時的檢漏測試
3.3.2 高效過濾器安裝在管道或空氣處理機上時過濾器的整體檢漏
3.3.3 檢漏測試報告
3.4 氣流目檢
3.4.1 氣流目檢的方法
3.4.2 氣流目檢的操作
3.4.3 關(guān)于氣流流型的測點布置
3.4.4 測試報告
3.5 溫度與濕度測試
3.5.1 一般溫、濕度測試
3.5.2 綜合溫、濕度測試
3.5.3 測試報告
3.6 自凈性能測試
3.6.1 自凈性能或自凈時間的定義
3.6.2 用粒子濃度變化率評估自凈性能
3.6.3 直接測量自凈時間
3.6.4 測試報告
3.7 污染滲漏測試
3.7.1 使用離散粒子計數(shù)器測試污染滲漏
3.7.2 使用氣溶膠光度計測試污染滲漏
3.7.3 測試報告
3.8 粒子沉積測試
3.8.1 測量采樣板上沉積粒子的獲取方法
3.8.2 測量采樣板上沉積粒子的計數(shù)和粒徑確定
3.8.3 測量采樣板材料與測試儀器
3.8.4 測試報告
3.9 潔凈室的噪聲、微振與照度的測試
3.9.1 相關(guān)的標準與規(guī)定
3.9.2 噪聲、微振與照度的檢測
3.10 靜電測試
3.10.1 相關(guān)的規(guī)范規(guī)定
3.10.2 靜電測試方法
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第4章 檢測儀器、儀表與方法
4.1 光散射離散粒子計數(shù)器
4.1.1 用于現(xiàn)場檢測的便攜式激光粒子計數(shù)器
4.1.2 用于潔凈環(huán)境實時監(jiān)控的激光粒子計數(shù)器及相關(guān)設(shè)備
4.1.3 凝聚核粒子計數(shù)器
4.2 氣流測試儀表
4.2.1 風速測量儀表
4.2.2 壓差測定常用儀表
4.2.3 氣流目測的儀器
4.3 高效空氣過濾器安裝后的檢漏
4.3.1 檢漏測試所用的氣溶膠
4.3.2 檢漏測試所用的設(shè)備
4.4 溫、濕度、照度、噪聲等參數(shù)的測量
4.4.1 溫度測量儀表
4.4.2 濕度測量儀表
4.4.3 照度與噪聲測試儀表
4.5 靜電和離子生成器測試儀表
4.6 ISO 14644 關(guān)于潔凈設(shè)施測試的順序與儀器
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第5章 生物污染控制與微生物檢測
5.1 微生物污染控制的手段與方法
5.2 生物污染控制原則
5.2.1 微生物危害評價與控制體系的內(nèi)容
5.2.2 生物污染監(jiān)測
5.3 生物污染的檢測采樣
5.3.1 生物污染的檢測采樣儀器的選擇原則
5.3.2 采樣計劃的制定
5.4 生物污染數(shù)據(jù)的評價
5.4.1 初始檢測階段對生物污染數(shù)據(jù)的評估
5.4.2 日常監(jiān)測階段所得生物污染數(shù)據(jù)的估算與評價
5.4.3 沉降測值與浮游測值的關(guān)聯(lián)
5.5 傳統(tǒng)的微生物采樣計數(shù)設(shè)備
5.5.1 沉降法采樣裝置
5.5.2 撞擊法空氣微生物采樣器
5.5.3 碰撞式采樣法
5.5.4 過濾法
5.5.5 大容量法
5.5.6 表面微生物的測試方法
5.6 環(huán)境微生物的快速測定法
5.6.1 目前使用的幾種微生物快速測定法
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第6章 潔凈室性能測試報告的實例
6.1 檢測報告的基本內(nèi)容
6.2 檢測報告的目錄及實例
第7章 潔凈室污染控制分析與策略
7.1 查清潔凈室污染源與傳播途徑
7.1.1 污染源
7.1.2 污染傳播的途徑
7.1.3 污染風險分析和控制措施圖
7.2 危害性分析
7.3 制定危害控制與監(jiān)測方法
7.3.1 制定危害控制的方法
7.3.2 監(jiān)測采樣與控制方法
7.3.3 制定報警值和行動值
復(fù)習思考題
第8章 潔凈室的制度與紀律
8.1 嚴格控制進入潔凈室的人員
8.1.1 對潔凈室工作人員的基本要求
8.1.2 對潔凈室維修人員和服務(wù)人員的基本要求
8.2 潔凈室內(nèi)需遵守的紀律
8.2.1 防止沿通道逆向氣流增加污染
8.2.2 防止工作人員在潔凈室內(nèi)的不當動作增加污染
8.2.3 防止?jié)崈羰覂?nèi)材料使用不當而增加污染
8.3 潔凈室工作人員的教育培訓(xùn)
8.3.1 參與培訓(xùn)的人員
8.3.2 培訓(xùn)課程的內(nèi)容
8.3.3 對潔凈室人員行為的監(jiān)控
8.4 潔凈室工作制度與紀律示例
天津某知名合資電子企業(yè)潔凈室工作守則（試用版）
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第9章 人員進出潔凈室與潔凈服裝
9.1 人員進入潔凈室的清潔流程
9.1.1 到達潔凈室前
9.1.2 更換潔凈服
9.1.3 離開潔凈室的更衣程序
9.2 潔凈服
9.2.1 人員散發(fā)的污染物來源與傳播途徑
9.2.2 潔凈服的設(shè)計與制作
9.2.3 潔凈室服裝的處理與更換
9.2.4 潔凈服測試
9.3 潔凈室用面罩、頭盔、手套
9.3.1 潔凈面罩與頭盔
9.3.2 潔凈室手套
9.4 動力排風式頭盔
復(fù)習思考題
第10章 進入潔凈室的材料、設(shè)備和機器
10.1 潔凈室用材的選擇
10.2 外部供應(yīng)的物品及其包裝
10.3 通過氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備
10.4 潔凈室固定設(shè)備的進入、安裝與維修
復(fù)習思考題
第11章 潔凈室的日常清潔工作
11.1 潔凈室日常清潔的必要性
11.2 表面物理清潔方法
11.3 潔凈室用清潔用具及操作方法
11.4 潔凈室清潔用液體
11.5 清潔表面和清潔級別的分類
11.6 潔凈室日常清潔方法
11.7 清潔工作的計劃與安排
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附錄 ISO 14644 系列、ISO 14698系列標準術(shù)語和定義匯編
附錄一 按 ISO 14644，ISO 14698 系列標準的序號，匯集各標準的“術(shù)語與定義”
附錄二 ISO 14644，ISO 14698 系列標準按漢語拼音排序的“術(shù)語與定義”
附錄三 ISO 14644，ISO 1698 系列標準按英文字母排序的“術(shù)語與定義”
參考文獻