實(shí)用真空檢漏技術(shù)

第1章 檢漏的一般概念
1.1 檢漏技術(shù)的地位和應(yīng)用
1.2 檢漏技術(shù)的主要術(shù)語
1.3 壓力與漏率關(guān)系
1.3.1 動(dòng)態(tài)真空
1.3.2 靜態(tài)真空
1.4 檢漏的任務(wù)
1.4.1 真空抽不好的原因
1.4.2 不能保持壓力的原因
1.4.3 檢漏的任務(wù)
1.5 漏孔及其表示
1.5.1 焊縫及原材料的缺欠
1.5.2 常見漏孔的形式
1.5.3 漏孔出現(xiàn)位置及產(chǎn)生原因
1.5.4 漏孔大小的表示方法
1.5.5 影響漏孔漏率的因素
1.5.6 漏率的單位
1.5.7 漏孔對(duì)真空的影響
1.6 裝置漏氣的判定
1.6.1 真空裝置漏氣的判定
1.6.2 加壓裝置漏氣的判定
1.6.3 檢漏儀及其他方法
1.7 裝置容許最大漏率估算
1.7.1 動(dòng)態(tài)真空裝置容許最大漏率
1.7.2 靜態(tài)真空裝置容許最大漏率
1.7.3 加壓裝置容許最大漏率
1.7.4 實(shí)際存在漏孔漏率分布
1.8 靈敏度與最小可檢漏率
1.8.1 靈敏度
1.8.2 最小可檢漏率
1.8.3 有效最小可檢漏率
1.9 對(duì)檢漏的一般要求
1.10 檢漏方法的分類
1.10.1 加壓檢漏法
1.10.2 抽真空檢漏法
1.10.3 其他方法
1.11 檢漏方法、儀器和示漏物質(zhì)選擇原則
1.12 國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)狀
第2章 檢漏的真空基礎(chǔ)
2.1 真空概念和測量單位
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空度
2.1.3 真空區(qū)域劃分
2.2 理想氣體基本定律及狀態(tài)方程
2.2.1 理想氣體
2.2.2 波義耳定律
2.2.3 蓋•呂薩克定律
2.2.4 查理定律
2.2.5 阿伏伽德羅定律
2.2.6 理想氣體狀態(tài)方程
2.2.7 道爾頓定律（分壓力定律）
2.3 氣體分子的平均自由程
2.3.1 平均自由程
2.3.2 單一氣體分子的平均自由程
2.4 氣體流量和管道流導(dǎo)
2.4.1 氣體量
2.4.2 流量
2.4.3 流導(dǎo)
2.4.4 管道串聯(lián)的流導(dǎo)
2.4.5 管道并聯(lián)的流導(dǎo)
2.5 氣體的流動(dòng)狀態(tài)
2.5.1 真空管道中的氣體流動(dòng)
2.5.2 漏孔中的氣體流動(dòng)
2.6 真空泵
2.6.1 油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵
2.6.2 油擴(kuò)散泵
2.6.3 渦輪分子泵
2.7 真空計(jì)
2.7.1 靜態(tài)變形真空計(jì)
2.7.2 電阻真空計(jì)
2.7.3 熱偶真空計(jì)
2.7.4 熱陰極電離真空計(jì)
2.7.5 冷陰極磁控放電真空計(jì)（潘寧真空計(jì)）
2.7.6 分壓力真空計(jì)
第3章 常用的檢漏方法
3.1 靜態(tài)升壓法
3.2 靜態(tài)降壓法
3.3 氣泡檢漏法
3.3.1 氣泡檢漏法的原理
3.3.2 產(chǎn)生氣泡的條件
3.3.3 產(chǎn)生壓差的方法
3.3.4 打氣試漏法及注意事項(xiàng)
3.4 高頻火花檢漏法
3.4.1 火花法
3.4.2 放電法
3.5 鹵素檢漏法
3.5.1 鹵素檢漏法原理及儀器結(jié)構(gòu)
3.5.2 鹵素檢漏法注意事項(xiàng)
3.6 質(zhì)譜儀檢漏法
3.7 其他檢漏方法
3.7.1 真空規(guī)法
3.7.2 離子泵檢漏法
3.7.3 聲波檢漏法
3.7.4 氨檢漏法
3.7.5 放射性同位素法
3.7.6 著色滲透法
3.7.7 熒光滲透法
3.7.8 正壓漏率計(jì)算法
第4章 標(biāo)準(zhǔn)漏孔及其校準(zhǔn)
4.1 真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔
4.1.1 概述
4.1.2 真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的種類
4.1.3 真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的比較
4.2 正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔
4.3 標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)及使用注意事項(xiàng)
第5章 氦質(zhì)譜檢漏儀法
5.1 氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
5.2 儀器結(jié)構(gòu)
5.2.1 質(zhì)譜室
5.2.2 真空系統(tǒng)
5.2.3 電氣部分
5.2.4 普通型氦質(zhì)譜檢漏儀（ZJS-23B）與逆擴(kuò)散型氦質(zhì)譜檢漏儀（ZQJ-230D）的比較
5.3 示漏氣體選擇
5.4 最小可檢漏率與校準(zhǔn)
5.4.1 檢漏儀的最小可檢漏率
5.4.2 有效最小可檢漏率
5.4.3 檢漏儀的最小可檢漏率校準(zhǔn)方法
5.4.4 有效最小可檢漏率的校準(zhǔn)方法
5.4.5 注意事項(xiàng)
5.5 反應(yīng)時(shí)間與清除時(shí)間及其校準(zhǔn)
5.6 氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇
5.7 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)
5.7.1 氦質(zhì)譜檢漏方法
5.7.2 實(shí)際漏孔漏率
5.7.3 大容器檢漏
第6章 四極質(zhì)譜計(jì)檢漏法
6.1 四極質(zhì)譜計(jì)的結(jié)構(gòu)
6.2 四極質(zhì)譜計(jì)的工作原理
6.3 四極質(zhì)譜計(jì)的工作模式
6.3.1 模擬峰質(zhì)量掃描
6.3.2 棒峰質(zhì)量掃描
6.4 四極質(zhì)譜計(jì)的性能指標(biāo)
6.4.1 質(zhì)量范圍
6.4.2 分辨本領(lǐng)R
6.4.3 靈敏度S
6.4.4 最小可檢分壓力pmin
6.4.5 最高工作壓力pmax
6.4.6 最小可檢濃度
6.5 四極質(zhì)譜計(jì)檢漏方法
6.5.1 殘氣分析法
6.5.2 單一示漏氣體檢漏法
6.5.3 多種示漏氣體檢漏法
6.6 應(yīng)用舉例
6.7 質(zhì)譜圖的識(shí)別
第7章 檢漏實(shí)踐和檢漏安全
7.1 檢漏實(shí)踐
7.1.1 檢漏實(shí)踐的原則——在真空工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作
7.1.2 檢漏工作人員與檢漏試驗(yàn)室（車間）
7.1.3 如何進(jìn)行檢漏
7.2 檢漏安全
7.2.1 安全事項(xiàng)
7.2.2 安全防護(hù)
7.2.3 壓力防護(hù)
7.2.4 安全裝置
7.2.5 示漏氣體的危害與安全性
7.2.6 監(jiān)測設(shè)備的類型
7.2.7 安全規(guī)則
參考文獻(xiàn)
編后語