功能薄膜及其沉積制備技術(shù)

定　價(jià)：￥99.00

作　者：	戴達(dá)煌等編著
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	工業(yè)技術(shù) 一般工業(yè)技術(shù)

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ISBN：	9787502460266	出版時(shí)間：	2013-01-01	包裝：	平裝
開(kāi)本：	大16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	516	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《功能薄膜及其沉積制備技術(shù)》由戴達(dá)煌、代明江、侯惠君編著，本書(shū)結(jié)合功能薄膜的特點(diǎn)和工程應(yīng)用與發(fā)展實(shí)際，概要地講述了薄膜的含義、特征和分類(lèi)及功能薄膜設(shè)計(jì)的原則；重點(diǎn)講述了氣相沉積、三束材料表面改性、復(fù)合處理等先進(jìn)功能薄膜沉積制備方法、原理、工藝特點(diǎn)及適用的領(lǐng)域；在裝飾與機(jī)械功能薄膜中，講述了主要膜系、膜系的設(shè)計(jì)原則，并分別列舉了裝飾與機(jī)械功能膜的典型應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)；在物理和特殊功能薄膜中，講述了微電子、電磁、光學(xué)、光電子、集成光學(xué)等功能薄膜以及幾種特殊的功能薄膜的特點(diǎn)及其典型的應(yīng)用；最后扼要地介紹了微細(xì)加工技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)加工的特點(diǎn)、典型器件與系統(tǒng)的新應(yīng)用等內(nèi)容。全書(shū)內(nèi)容系統(tǒng)，深入淺出地介紹了一些新構(gòu)思、新材料、新器件所實(shí)現(xiàn)的工程應(yīng)用。《功能薄膜及其沉積制備技術(shù)》可供從事材料表面技術(shù)與工程、薄膜材料工藝與應(yīng)用研究、設(shè)計(jì)、制造、管理的科技人員參考，也可供高等院校材料專(zhuān)業(yè)和相近專(zhuān)業(yè)師生使用。