超高真空

第1章 超高真空技術(shù)概述
1.1 氣體分子熱運(yùn)動(dòng)速度
1.2 氣體分子的平均自由程λ
1.3 氣體分子碰撞次數(shù)
1.3.1 氣體分子之間（或電子與氣體分子間）的碰撞次數(shù)
1.3.2 分子與器壁碰撞數(shù)（碰撞頻度）
1.4 氣體壓力
1.5 表面形成單分子層的時(shí)間
1.6 氣體分子在材料表面的吸附
1.6.1 物理吸附速率方程
1.6.2 化學(xué)吸附速率方程
1.7 脫附速率
1.7.1 一級(jí)脫附速率
1.7.2 二級(jí)脫附速率
1.8 吸附等溫線（平衡狀態(tài)下吸附量）
第2章 超高真空泵
2.1 超高真空油擴(kuò)散泵
2.1.1 超高真空油擴(kuò)散泵的極限壓力
2.1.2 泵的返油率
2.1.3 擋油帽
2.1.4 擋板
2.1.5 冷阱
2.1.6 氣體的反擴(kuò)散
2.1.7 擴(kuò)散泵油
2.1.8 擴(kuò)散泵油分餾裝置
2.1.9 擴(kuò)散泵的抽氣速率
2.1.10 擴(kuò)散泵臨界前級(jí)壓力
2.1.11 擴(kuò)散泵的加熱功率
2.1.12 擴(kuò)散泵的不穩(wěn)定性
2.2 渦輪分子泵
2.2.1 渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)、抽氣原理
2.2.2 分子泵的抽速和壓縮比
2.2.3 渦輪分子泵極限壓力
2.2.4 渦輪分子泵軸承及動(dòng)平衡
2.2.5 渦輪分子泵操作與運(yùn)轉(zhuǎn)
2.2.6 國(guó)產(chǎn)立式渦輪分子泵
2.3 濺射離子泵
2.3.1 濺射離子泵抽氣原理
2.3.2 二極濺射離子泵的抽速
2.3.3 二極濺射離子泵的極限壓力
2.3.4 二極濺射離子泵的不穩(wěn)定性
2.3.5 二極濺射離子泵的改進(jìn)
2.3.6 濺射離子泵的磁場(chǎng)與漏磁
2.3.7 濺射離子泵的啟動(dòng)特性
2.3.8 濺射離子泵的預(yù)抽
2.3.9 濺射離子泵的使用壽命
2.3.1 0濺射離子泵性能參數(shù)
2.4 低溫泵
2.4.1 概述
2.4.2 低溫泵的分類(lèi)
2.4.3 低溫泵的極限壓力
2.4.4 低溫泵的抽速
2.4.5 低溫泵的熱負(fù)荷
2.4.6 低溫泵的制冷時(shí)間
2.4.7 低溫泵工作壽命
2.4.8 低溫泵的啟動(dòng)壓力（轉(zhuǎn)換壓力）
2.4.9 貯槽式低溫泵
2.4.10 氦流程低溫泵
2.4.11 小型制冷機(jī)低溫泵
第3章 超高真空用法蘭、閥門(mén)、冷阱
3.1 金屬超高真空法蘭
3.1.1 Batzer密封法蘭
3.1.2 角形密封法蘭
3.1.3 Wheeler法蘭
3.1.4 ConFlat法蘭
3.1.5 階梯密封法蘭
3.1.6 金屬密封法蘭標(biāo)準(zhǔn)
3.2 氟橡膠密封超高真空法蘭
3.3 真空管路及真空規(guī)管接頭
3.3.1 超高真空管路接頭型式
3.3.2 真空計(jì)規(guī)管接頭
3.3.3 柔性管路
3.4 真空傳動(dòng)部件
3.4.1 膜片、波紋管傳動(dòng)
3.4.2 磁力傳動(dòng)
3.4.3 磁流體傳動(dòng)密封
3.4.4 液態(tài)金屬密封
3.5 電極引入部件、觀察窗
3.5.1 電極引入部件
3.5.2 觀察窗
3.6 真空閥門(mén)
3.6.1 真空閥門(mén)的分類(lèi)
3.6.2 真空閥門(mén)基本型號(hào)
3.6.3 超高真空閥門(mén)
3.6.4 擋板和阱
第4章 超高真空測(cè)量
4.1 概述
4.2 全壓力測(cè)量
4.2.1 超高真空全壓力測(cè)量的要求
4.2.2 B.A型熱陰極超高真空電離計(jì)
4.2.3 其他超高真空熱陰極電離計(jì)
4.2.4 冷陰極超高真空電離計(jì)
4.2.5 超高真空校準(zhǔn)
4.2.6 測(cè)量方法及影響測(cè)量因素
4.3 分壓力測(cè)量及氣體成分分析
4.3.1 超高真空氣體成分分析及分壓力測(cè)量對(duì)真空質(zhì)譜計(jì)的要求
4.3.2 常用術(shù)語(yǔ)及真空質(zhì)譜計(jì)主要技術(shù)指標(biāo)
4.3.3 超高真空用的質(zhì)譜計(jì)
4.3.4 超高真空系統(tǒng)殘余氣體成分分析
4.3.5 真空系統(tǒng)氣體組分的分壓力測(cè)量
4.3.6 超高真空分壓力測(cè)量常用數(shù)據(jù)表
第5章 超高真空系統(tǒng)
5.1 概述
5.2 玻璃超高真空系統(tǒng)
5.2.1 超高真空常用玻璃
5.2.2 玻璃的封接
5.2.3 玻璃的放氣與除氣
5.2.4 玻璃的滲氦
5.2.5 玻璃真空系統(tǒng)制作
5.3 金屬超高真空系統(tǒng)
5.3.1 金屬超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)
5.3.2 超高真空抽氣機(jī)組
第6章 超高真空系統(tǒng)檢漏、運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)
6.1 超高真空系統(tǒng)的安裝
6.2 超高真空系統(tǒng)的檢漏
6.2.1 真空系統(tǒng)（容器、部件）漏氣的判斷
6.2.2 真空系統(tǒng)允許的最大漏率
6.2.3 系統(tǒng)漏率的測(cè)量
6.2.4 檢漏儀、檢漏方法和示漏物質(zhì)的選擇
6.2.5 真空設(shè)備檢漏須知
6.3 超高真空系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)
6.3.1 超高真空系統(tǒng)的預(yù)抽（粗抽）
6.3.2 超高真空系統(tǒng)烘烤除氣
6.3.3 超高真空泵操作注意事項(xiàng)
6.3.4 超高真空系統(tǒng)的維護(hù)
參考文獻(xiàn)