真空裝置

第1章概論1
1.1真空裝置1
1.2真空裝置的特點1
1.3真空裝置的分類2
1.4真空裝置的組成4
1.4.1真空容器（真空室）4
1.4.2真空泵5
1.4.3抽氣機(jī)組5
1.4.4真空測量5
1.5真空裝置典型實例6
第2章真空裝置容器14
2.1概述14
2.2真空室的門15
2.3真空室的冷卻16
2.4真空室的觀察窗17
2.4.1觀察窗基本類型18
2.4.2觀察窗設(shè)計要點20
2.4.3真空設(shè)備常用觀察窗標(biāo)準(zhǔn)21
2.5真空室的電極引入22
2.5.1電極引入部件密封設(shè)計要求22
2.5.2電極的結(jié)構(gòu)形式23
2.5.3部標(biāo)陶瓷金屬封接電極(SJ 1775—81)29
2.5.4國產(chǎn)陶瓷-金屬封接電極30
2.6真空室強(qiáng)度計算31
2.6.1真空室強(qiáng)度計算一般知識31
2.6.2真空室殼體設(shè)計34
2.6.3圓筒體加強(qiáng)圈的設(shè)計50
2.6.4封頭強(qiáng)度計算55
2.6.5開孔加強(qiáng)設(shè)計63
2.6.6法蘭及管道設(shè)計70
第3章真空裝置抽氣系統(tǒng)77
3.1真空裝置抽氣系統(tǒng)基本參數(shù)77
3.1.1極限壓力77
3.1.2工作壓力78
3.1.3有效抽速79
3.1.4抽氣時間81
3.2真空系統(tǒng)設(shè)計86
3.2.1選泵及配泵86
3.2.2真空系統(tǒng)設(shè)計計算實例89
3.3低真空抽氣機(jī)組設(shè)計94
3.3.1低真空機(jī)組的特點94
3.3.2除塵器94
3.3.3低真空機(jī)組典型實例96
3.4高真空系統(tǒng)及抽氣機(jī)組98
3.4.1高真空系統(tǒng)特點98
3.4.2儲氣罐預(yù)抽泵設(shè)計99
3.4.3高真空機(jī)組主要形式100
3.5超高真空系統(tǒng)及抽氣機(jī)組105
3.5.1超高真空系統(tǒng)特點105
3.5.2超高真空系統(tǒng)設(shè)計要點105
3.5.3超高真空抽氣機(jī)組107
3.5.4蘭州物理研究所對超高真空系統(tǒng)的研究112
3.6極高真空系統(tǒng)113
3.6.1概述113
3.6.2極高真空系統(tǒng)設(shè)備研究114
3.6.3極高真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)規(guī)范116
3.6.4試驗結(jié)果與討論117
第4章真空泵119
4.1概述119
4.1.1真空泵的分類119
4.1.2真空泵的技術(shù)術(shù)語、用途和使用范圍120
4.1.3真空泵的型號及規(guī)格表示法122
4.2往復(fù)式真空泵124
4.2.1概述124
4.2.2工作原理124
4.2.3結(jié)構(gòu)特點125
4.2.4主要性能參數(shù)126
4.2.5國家規(guī)定的往復(fù)泵型式與基本參數(shù)（摘自JB/T 7675—95）131
4.2.6往復(fù)泵的使用與維護(hù)131
4.3液環(huán)式真空泵132
4.3.1概述132
4.3.2工作原理133
4.3.3液環(huán)泵的基本類型與結(jié)構(gòu)134
4.3.4液環(huán)泵的基本參數(shù)135
4.3.5液環(huán)泵型式與基本參數(shù)（摘自GB/T 7255—94）137
4.3.6液環(huán)泵使用與維護(hù)137
4.4油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵138
4.4.1概述138
4.4.2工作原理139
4.4.3結(jié)構(gòu)特點141
4.4.4性能參數(shù)145
4.4.5型號與基本參數(shù)（摘自JB/T 6533—97、JB/T 1246—97）149
4.4.6泵的運行和維護(hù)150
4.5羅茨式真空泵153
4.5.1概述153
4.5.2工作原理154
4.5.3結(jié)構(gòu)特點155
4.5.4羅茨泵的主要性能參數(shù)157
4.5.5ZJ型羅茨泵的基本參數(shù)(摘自ZB/T 7674—95)160
4.5.6羅茨泵的使用與維護(hù)161
4.6渦輪分子泵162
4.6.1概述162
4.6.2渦輪分子泵的工作原理163
4.6.3渦輪分子泵基本結(jié)構(gòu)組成及特點166
4.6.4渦輪分子泵工作特性167
4.6.5渦輪分子泵基本參數(shù)(摘自JB/T 9125—1999)168
4.6.6渦輪分子泵的使用169
4.7油擴(kuò)散噴射真空泵170
4.7.1概述170
4.7.2結(jié)構(gòu)原理171
4.7.3油擴(kuò)散噴射真空泵的抽氣特性172
4.7.4油擴(kuò)散噴射真空泵的設(shè)計計算173
4.7.5國產(chǎn)Z型系列及WZ系列油擴(kuò)散噴射真空泵主要技術(shù)性能、特性曲線及
外形尺寸178
4.7.6油擴(kuò)散噴射泵的運轉(zhuǎn)183
4.7.7油擴(kuò)散噴射泵的使用與維護(hù)186
4.8油擴(kuò)散泵187
4.8.1概述187
4.8.2油擴(kuò)散泵的工作原理188
4.8.3油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)形式和特點189
4.8.4油擴(kuò)散泵的性能參數(shù)193
4.8.5用油擴(kuò)散泵獲得超高真空的方法197
4.8.6油擴(kuò)散泵的使用與維護(hù)198
4.9低溫泵200
4.9.1概述200
4.9.2低溫泵的抽氣原理和分類200
4.9.3低溫泵的性能參數(shù)202
4.9.4現(xiàn)代低溫泵的結(jié)構(gòu)及設(shè)計208
4.9.5低溫泵的選型方法215
4.10濺射離子泵216
4.10.1概述216
4.10.2濺射離子泵的基本結(jié)構(gòu)和工作原理217
4.10.3濺射離子泵的改進(jìn)219
4.10.4濺射離子泵的工作特性221
4.10.5濺射離子泵的使用維護(hù)223
4.11鈦泵224
4.11.1概述224
4.11.2鈦升華泵工作原理225
4.11.3鈦升華器的結(jié)構(gòu)226
4.11.4電離升華泵228
4.11.5鈦泵的使用和維護(hù)230
第5章真空閥門231
5.1概述231
5.2真空閥門的設(shè)計與計算要點236
5.2.1對真空閥門的基本要求236
5.2.2真空閥門的設(shè)計步驟237
5.2.3真空閥門的密封237
5.2.4真空閥門壓緊裝置及設(shè)計計算242
5.2.5閥蓋傳動機(jī)構(gòu)244
5.3真空裝置常用的真空閥門249
5.3.1真空插板閥249
5.3.2高真空擋板閥254
5.3.3高真空蝶閥261
5.3.4電磁真空閥270
5.3.5真空隔膜閥279
5.3.6真空微調(diào)閥286
5.3.7真空放氣閥288
5.3.8玻璃真空活塞293
5.3.9典型各類真空閥門結(jié)構(gòu)形式299
第6章真空裝置自動控制308
6.1概述308
6.1.1真空裝置控制308
6.1.2真空自動控制系統(tǒng)的分類308
6.1.3自動控制系統(tǒng)的性能指標(biāo)309
6.1.4自動控制系統(tǒng)的分析方法310
6.2自動控制元件及裝置311
6.2.1真空繼電器311
6.2.2真空計312
6.3真空裝置自動控制系統(tǒng)315
6.3.1概述315
6.3.2繼電器控制系統(tǒng)315
6.3.3壓力控制儀控制系統(tǒng)316
6.3.4可編程控制器控制系統(tǒng)318
6.3.5計算機(jī)控制系統(tǒng)321
第7章真空裝置中的常用制造工藝325
7.1真空裝置的清洗處理325
7.1.1概述325
7.1.2真空裝置元件的清洗方法326
7.1.3清洗的基本程序333
7.1.4非金屬材料的清洗334
7.2真空裝置材料的除氣335
7.2.1材料除氣的基本方法335
7.2.2玻璃及陶瓷材料的除氣339
7.2.3金屬材料的除氣341
7.2.4電真空器件的除氣343
7.2.5超高真空裝置的烘烤除氣344
7.2.6烘烤除氣裝置346
7.3真空裝置常用的焊接技術(shù)346
7.3.1真空裝置對焊接工藝的要求346
7.3.2真空焊接的分類346
7.3.3氬弧焊347
7.3.4電子束焊353
7.3.5真空釬焊355
7.3.6真空擴(kuò)散焊接362
7.4真空裝置金屬——陶瓷封接技術(shù)364
7.4.1陶瓷-金屬封接材料364
7.4.2陶瓷-金屬封接形式365
7.4.3陶瓷金屬化封接365
7.4.4真空直接釬焊封接366
7.4.5金屬-陶瓷釬焊應(yīng)用實例368
參考文獻(xiàn)369