現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)

定　價：￥30.00

作　者：	張永宏編
出版社：	西北工業(yè)大學出版社
叢編項：	高等學校規(guī)劃教材，材料科學與工程
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787561250037	出版時間：	2016-08-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	230	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》由薄膜制備技術(shù)、薄膜檢測技術(shù)和典型薄膜材料及其應用3部分構(gòu)成，系統(tǒng)介紹了現(xiàn)代薄膜技術(shù)中涉及的真空的獲得和測量方法、薄膜制備技術(shù)中重要的物理和化學方法、薄膜材料常用的結(jié)構(gòu)分析和性能測試方法，全面闡述了典型薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)、性能和應用。此外，《現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》還結(jié)合筆者的研究工作，設置了磁控濺射鍍膜技術(shù)和非晶碳膜的結(jié)構(gòu)和性能表征方法兩個專題內(nèi)容?！冬F(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》可作為普通高等工科院校的材料及相關(guān)專業(yè)的薄膜材料與技術(shù)課程的教學用書，也可供從事薄膜材料生產(chǎn)和開發(fā)的工程技術(shù)人員參考。

作者簡介

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圖書目錄

第1章薄膜制備的真空技術(shù)基礎
1．1 真空的基本知識
1．2 真空的獲得
1．3 真空的測量
復習思考題
參考文獻
第2章薄膜的物理氣相沉積
2．1 真空蒸發(fā)鍍膜
2．2 濺射鍍膜
2．3 其他物理氣相沉積技術(shù)
2．4 分子束外延鍍膜技術(shù)
專題1 磁控濺射鍍膜技術(shù)
復習思考題
參考文獻
第3章薄膜制備的化學方法
3．1 薄膜的化學和電化學轉(zhuǎn)化
3．2 薄膜的化學氣相沉積
復習思考題
參考文獻
第4章薄膜材料的表征與評價
4．1 薄膜厚度的測量與監(jiān)控
4．2 表面成分和組織結(jié)構(gòu)分析
4．3 物理和化學性能測試
4．4 力學性能測試
專題2 非晶碳膜的結(jié)構(gòu)和性能表征方法
復習思考題
參考文獻
第5章功能薄膜材料及其應用
5．1 光電薄膜
5．2 磁性薄膜
復習思考題
參考文獻
第6章超硬薄膜材料及其應用
6．1 金剛石膜
6．2 非晶碳膜
6．3 氮化碳（CNx）薄膜
復習思考題
參考文獻