金屬有機物氣相外延理論與實踐（第2版）

定　價：￥91.00

作　者：	[美] 斯特林費洛（Gerald，B.，Stringfellow）著
出版社：	北京大學出版社
叢編項：	中外物理學精品書系
標　簽：	化學有機化學自然科學

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ISBN：	9787301275177	出版時間：	2016-11-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	1072	字數(shù)：

內容簡介

　　《金屬有機物氣相外延——理論與實踐（第二版）》作為金屬有機物氣相外延（OMVPE或MOCVD）基礎理論和應用實踐方面的教學參考書，適用于材料物理，材料化學和電子專業(yè)的本科生和研究生。同時也適合作為OMVPE生產(chǎn)和研發(fā)人員的工具書。本書第一章首先總攬了OMVPE的生長過程，并和其他的外延工藝做細致的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面：熱力學（第二章），表面物理過程（第三章），反應源（第四章），動力學（第五章）以及流體力學和質量輸運（第六章）。這些論述不但包括基本的模型論述，還包括主要研究進展以及發(fā)展的趨勢，內容豐富。第七章討論了OMVPE生長過程的設計，包括動力學限制及高溫區(qū)的生長，同時也對整體的OMVPE過程進行設計。第八章則介紹了諸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結構，第十章則對OMVPE生長的器件進行了論述。

作者簡介

暫缺《金屬有機物氣相外延理論與實踐（第2版）》作者簡介

圖書目錄

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
?。保病⊥庋蛹夹g的比較…………………………………………………………… ２
　１．３　OMVPE生長過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學………………………………………………………………… １６
?。玻薄∠嗥胶獾臒崃W基礎……………………………………………………… １７
　２．２　相圖………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L的熱力學驅動力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
?。玻怠∷脑怠?８１
　２．６　表面熱力學……………………………………………………………… ８２
　參考文獻………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
?。常薄∫浴?９９
　３．２　表面測量技術…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測…………………………………………………… １０５
?。常础≡蛹壣L過程………………………………………………………… １０８
　３．５　表面過程對OMVPE生長的影響……………………………………… １２２
　參考文獻………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質………………………………………………………………… １３１
?。矗薄∫浴?１３１
　４．２　II族源…………………………………………………………………… １４０
?。矗场II族有機源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機源……………………………………………………………… １４７
?。矗怠I族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻………………………………………………………………………… １７５
第五章　動力學………………………………………………………………… １８６
?。担薄”尘啊?１８６
?。担病MVPE生長過程……………………………………………………… １９４
　５．３　單相熱解反應…………………………………………………………… １９７
　５．４　多相熱解反應…………………………………………………………… ２４０
?。担怠∮行颉?２４６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學與質量輸運……………………………………………… ２６２
?。叮薄∫浴?２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學處理………………………………………… ２６３
?。叮场∵吔鐚幽Ｐ汀?２７１
?。叮础∨P式OMVPE反應室近似分析方法…………………………………… ２７２
?。叮怠》磻以O計應用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長過程設計…………………………………………… ２７９
　７．１　OMVPE生長的綜合模型……………………………………………… ２７９
?。罚病恿W限制的生長……………………………………………………… ２８２
　７．３　中等溫度下所有氣壓范圍內的生長過程……………………………… ３０１
?。罚础「邷貐^(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… ３０７
?。罚丁】傮w工藝過程設計……………………………………………………… ３１５
　參考文獻………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長的材料……………………………………………… ３４０
　８．１　GaAs……………………………………………………………………… ３４０
?。福病lGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
　８．４　InP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
?。福丁s/P合金………………………………………………………………… ３７５
?。福贰′R化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
?。福埂II/V 族半導體的選區(qū)生長……………………………………………… ３９８
?。福保啊I/VI族半導體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導體…………………………………………………………… ４０４
２金屬有機物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽w材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
?。梗场lGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
　９．５　AlGaInN ………………………………………………………………… ４４３
?。梗丁儗映Ц瘛?４４４
?。梗贰i襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… ４４６
　９．９　II/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
　９．１０　摻雜超晶格……………………………………………………………… ４４９
?。梗保薄≡訉油庋?ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
　１０．３　電子開關器件…………………………………………………………… ４８１
?。保埃础√柲茈姵亍?４８６
?。保埃怠】偨Y……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機源分子符號………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２