MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機(jī)械：渦輪機(jī)，發(fā)電機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)

第1章 動(dòng)力微機(jī)電系統(tǒng)（PowerMEMS）簡介
1．1 緊湊的便攜式能源
1．2 化學(xué)能源
1．3 功率系統(tǒng)設(shè)計(jì)因素
1．4 總結(jié)
參考文獻(xiàn)
 
第2章 系統(tǒng)設(shè)計(jì)和器件綜述
2．1 簡介
2．2 熱力學(xué)和尺度效應(yīng)
2．2．1 機(jī)械學(xué)尺度效應(yīng)
2．3 MEMS燃?xì)廨啓C(jī)的設(shè)計(jì)概述
2．4 軸承和轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)
2．5 渦輪機(jī)械流體力學(xué)
2．6 結(jié)構(gòu)和材料
2．6．1 材料
2．6．2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2．7 燃燒
2．8 發(fā)動(dòng)機(jī)控制及配件
2．8．1 發(fā)動(dòng)機(jī)控制
2．8．2 傳感器
2．8．3 燃料控制閥
2．8．4 起動(dòng)器一發(fā)電機(jī)
2．9 發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)、元件集成、設(shè)計(jì)演進(jìn)
2．9．1 電動(dòng)微馬達(dá)一壓縮機(jī)和渦輪機(jī)一發(fā)電機(jī)
2．1 0總結(jié)
參考文獻(xiàn)
 
第3章 材料、結(jié)構(gòu)和封裝
3．1 引言
3．2 尺度效應(yīng)與材料選擇
3．2．1 尺度效應(yīng)
3．2．2 材料選擇
3．3 室溫下的強(qiáng)度設(shè)計(jì)
3．3．1 力學(xué)測(cè)試
3．3．2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
3．4 高溫下的強(qiáng)度設(shè)計(jì)
3．4．1 硅的高溫材料模型
3．5 硅的碳化物在混合結(jié)構(gòu)中的使用
3．5．1 SiC/Si混合結(jié)構(gòu)的機(jī)械特性
3．5．2 SiC/Si混合結(jié)構(gòu)的制作工藝
3．5．3 機(jī)械測(cè)試結(jié)果
3．6 封裝
3．7 總結(jié)
參考文獻(xiàn)
 
第4章 微發(fā)動(dòng)機(jī)的加工
4．1 前言
4．2 微發(fā)動(dòng)機(jī)
4．2．1 軸承測(cè)試臺(tái)
4．2．2 燃燒室
4．2．3 渦輪增壓機(jī)
4．2．4 自激型發(fā)動(dòng)機(jī)（SSE）
4．3 微加工基礎(chǔ)工藝
4．3．1 微發(fā)動(dòng)機(jī)材料
4．3．2 光刻
4．3．3 特殊光刻工藝
4．3．4 濕法腐蝕工藝
4．3．5 干法刻蝕工藝：反應(yīng)離子刻蝕（RIE）
4．3．6 深反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）
4．3．7 熔融鍵合
4．3．8 陽極鍵合
4．4 微發(fā)動(dòng)機(jī)的特有加工
……
 
第5章 微尺度旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)機(jī)械的加工
第6章 微型渦輪機(jī)械中的高速氣體軸承
第7章 熱流體和渦輪機(jī)械
第8章 發(fā)動(dòng)機(jī)與發(fā)電機(jī)
第9章 旋轉(zhuǎn)機(jī)械的微燃燒室
 
參考文獻(xiàn)