NEMS傳感器的研制與應(yīng)用

　　《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》概述了NEMS傳感器的結(jié)構(gòu)類型、加工工藝類型和常用的測試方案，并對目前國內(nèi)外NEMS傳感器研究取得的研究成果和發(fā)展現(xiàn)狀進行了總結(jié)分析：針對NEMS傳感器比較常見的場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)，詳細闡述了兩種不同的一維納米結(jié)構(gòu)組裝NEMS器件的工藝方法，以及器件電路結(jié)構(gòu)加工工藝等；并將硅納米線場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的傳感器應(yīng)用于空氣生物氣溶膠的在線檢測；對NEMS傳感器未來的發(fā)展方向進行了展望?！禢EMS傳感器的研制與應(yīng)用》可供相關(guān)科研單位技術(shù)人員和大專院校相關(guān)專業(yè)師生參考。

暫缺《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》作者簡介