NEMS傳感器的研制與應(yīng)用

定　價(jià)：￥28.00

作　者：	譚苗苗
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787502474423	出版時(shí)間：	2017-01-01	包裝：
開本：	16開	頁數(shù)：		字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》概述了NEMS傳感器的結(jié)構(gòu)類型、加工工藝類型和常用的測(cè)試方案，并對(duì)目前國(guó)內(nèi)外NEMS傳感器研究取得的研究成果和發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了總結(jié)分析：針對(duì)NEMS傳感器比較常見的場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)，詳細(xì)闡述了兩種不同的一維納米結(jié)構(gòu)組裝NEMS器件的工藝方法，以及器件電路結(jié)構(gòu)加工工藝等；并將硅納米線場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的傳感器應(yīng)用于空氣生物氣溶膠的在線檢測(cè)；對(duì)NEMS傳感器未來的發(fā)展方向進(jìn)行了展望。《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》可供相關(guān)科研單位技術(shù)人員和大專院校相關(guān)專業(yè)師生參考。