絕緣體上硅（SOI）技術：制造及應用

定　價：￥128.00

作　者：	奧列格.庫儂楚克，阮碧艷
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118116366	出版時間：	2018-09-01	包裝：
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內容簡介

　　《絕緣體上硅（SOI）技術：制造及應用》的目的是對SOI CMOS新技術的進展進行全面介紹。全書分為兩部分：*部分介紹SOI晶圓片的制造工藝、表征及SOI器件物理；第二部分介紹相關的各種應用。全書既涉及部分耗盡SOI這樣已成熟的技術，也包括全耗盡平面SOI技術、FinFET、射頻、光電子、MEMS以及超低功耗應用這樣一些新發(fā)展的技術。晶體管級和電路級解決方案也均有涉及。我們將這《絕緣體上硅（SOI）技術：制造及應用》的解決方案限定在32~14nm技術節(jié)點的范圍，并將應用限定在技術成熟到足以實現(xiàn)批量生產的范圍。