光電干涉檢測技術

第1章 干涉檢測技術基礎理論
1．1 光及光的特性
1．1．1 光學簡史
1．1．2 光的電磁理論
1．1．3 光的反射與折射定律
1．1．4 光的偏振理論
1．1．5 光場的疊加
1．1．6 光的衍射理論
1．2 光的干涉理論
1．2．1 干涉條件及其測量保證
1．2．2 分波前法干涉
1．2．3 分振幅法干涉
1．3 干涉儀的組成
1．3．1 干涉體系設計
1．3．2 光源選擇及照明系統(tǒng)
1．3．3 接收部分與接收器
1．3．4 干涉信號處理部分
1．4 干涉的應用和干涉檢測系統(tǒng)舉例
1．4．1 “米”的定義
1．4．2 激光干涉儀線性測長
1．4．3 引力波探測
1．4．4 大口徑望遠鏡主鏡檢測
習題
參考文獻
第2章 干涉條紋與Zernike多項式
2．1 典型干涉圖分析
2．1．1 平面波干涉圖與光程差
2．1．2 球面波與平面波典型干涉圖
2．1．3 球面波與球面波典型干涉圖
2．1．4 非球面波前典型干涉圖
2．1．5 自由曲面典型干涉圖
2．2 Zernike多項式及其應用
2．2．1 zernike多項式的數(shù)學表達及其性質
2．2．2 基于Zernike多項式的波前擬合技術
2．2．3 Zernike多項式的應用
習題
參考文獻
第3章 干涉條紋處理與相位恢復
3．1 單幅閉合條紋干涉圖相位恢復技術
3．1．1 單幅干涉圖相位恢復的不唯一性
3．1．2 正則化相位跟隨（RPT）技術
3．1．3 RPT的改進
3．2 線性載波及傅里葉變換解調技術
3．2．1 基本原理
3．2．2 頻率泄漏效應
3．2．3 殘留傾斜
3．3 移相干涉技術
3．3．1 移相干涉技術基本原理
3．3．2 移相干涉調制與解調方法
3．3．3 移相干涉技術實現(xiàn)方法
3．4 波面相位連續(xù)化處理
3．4．1 一維相位連續(xù)化
3．4．2 二維相位連續(xù)化
3．5 波面數(shù)據(jù)擬合分析
3．6 干涉圖預處理
3．6．1 空間濾波
3．6．2 正則化濾波
3．6．3 干涉圖孔徑確定
習題
參考文獻
第4章 常見干涉儀
4．1 邁克耳孫干涉儀
4．1．1 邁克耳孫干涉儀的基本原理
4．1．2 邁克耳孫干涉儀的光源
4．1．3 邁克耳孫干涉儀的應用
4．2 馬赫一曾德爾干涉儀
4．2．1 馬赫一曾德爾干涉儀的基本原理
4．2．2 馬赫一曾德爾干涉儀的應用
4．3 菲佐干涉儀
4．3．1 菲佐干涉儀的基本原理
4．3．2 菲佐干涉儀的應用
4．4 剪切干涉儀
4．4．1 橫向剪切干涉儀
4．4．2 徑向剪切干涉儀
4．5 點衍射干涉儀
4．5．1 發(fā)展概述
4．5．2 點衍射干涉儀的基本原理
4．5．3 點衍射干涉儀的應用
4．6 白光干涉儀
4．6．1 白光干涉儀的基本原理
4．6．2 白光干涉儀的應用
4．7 散斑干涉儀
4．7．1 散斑干涉儀的理論基礎
4．7．2 散斑干涉儀的基本原理
4．7．3 散斑干涉儀的應用
習題
參考文獻
第5章 干涉球面檢測與子孔徑拼接
5．1 干涉球面檢測基本原理
5．2 干涉球面檢測系統(tǒng)器件調整
5．2．1 干涉儀組件的調整
5．2．2 校準檢測路消球差透鏡
5．2．3 待測球面鏡調整
5．3 球面鏡面形誤差檢測及系統(tǒng)誤差去除
5．4 球面鏡檢測范圍
5．5 子孔徑拼接技術
5．5．1 子孔徑的劃分
5．5．2 拼接算法
5．5．3 子孔徑拼接誤差
5．5．4 子孔徑拼接技術實例
習題
參考文獻
第6章 干涉非球面檢測技術與系統(tǒng)
6．1 非球面基礎
6．1．1 非球面的數(shù)學表征
6．1．2 非球面的幾何參數(shù)
6．1．3 常見非球面檢測技術
6．2 非球面零位干涉檢測技術
6．2．1 無像差點法
6．2．2 零位補償鏡法
6．2．3 計算全息法
6．3 非球面非零位干涉檢測技術
6．3．1 長波長干涉法
6．3．2 高密度探測器法
6．3．3 子孔徑拼接干涉法
6．3．4 部分補償干涉法
6．4 非球面面形重構技術
6．4．1 常規(guī)干涉檢測重構法
6．4．2 正向光線追跡重構法
6．4．3 逆向迭代優(yōu)化重構法
6．5 Nassl非球面檢測技術實例
習題
參考文獻
第7章 常見干涉光譜器件與系統(tǒng)
7．1 多光束干涉光譜器件
7．1．1 平行平板的多光束干涉理論
7．1．2 法布里-珀羅干涉光譜器件
7．1．3 法布里-珀羅干涉光譜器件的應用
7．2 雙光束干涉光譜器件
7．2．1 邁克耳孫干涉光譜鑒頻器件
7．2．2 視場展寬邁克耳孫干涉儀
7．2．3 馬赫-曾德爾干涉儀
7．3 干涉型成像光譜儀
7．3．1 傅里葉變換干涉光譜技術
7．3．2 時間調制干涉成像光譜儀
7．3．3 空間調制干涉成像光譜儀
習題
參考文獻
第8章 光學干涉檢測系統(tǒng)設計
8．1 離軸拋物面干涉檢測系統(tǒng)
8．1．1 設計一：無像差點法
8．1．2 設計二：零位補償鏡法
8．1．3 設計三：計算全息法
8．1．4 設計四：圓形子孔徑拼接法
8．1．5 設計五：環(huán)形子孔徑拼接法
8．2 動態(tài)流場干涉檢測體系
8．2．1 設計一：馬赫一曾德爾干涉檢測系統(tǒng)
8．2．2 設計二：循環(huán)型徑向剪切干涉系統(tǒng)
8．2．3 設計三：菲佐型同步移相干涉系統(tǒng)
8．3 激光干涉引力波探測系統(tǒng)
8．3．1 引力波探測歷程
8．3．2 從廣義相對論說起：引力波探測物理基礎
8．3．3 基于長度變化測量的引力波探測
8．3．4 Fabrv-Perot腔
8．3．5 激光及真空系統(tǒng)
8．3．6 隔振系統(tǒng)
8．3．7 信號處理系統(tǒng)
8．3．8 引力波探測系統(tǒng)小結
習題
參考文獻