金剛石膜粒子探測器材料

定　價：￥150.00

作　者：	夏義本著
出版社：	科學出版社
叢編項：	先進功能材料叢書
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787030704276	出版時間：	2022-01-01	包裝：	精裝
開本：	16開	頁數(shù)：	299	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《金剛石膜粒子探測器材料》系統(tǒng)介紹了金剛石膜材料的物理性能、制備工藝技術以及材料與光電探測器件的關系和原理。其物理性能包括膜的結構、表面、界面及摻雜對熱和光電性能的影響；制備工藝技術包括不同材質的襯底處理，詳盡地描述了微波等離子體和熱絲輔助化學氣相沉積法制備金剛石膜的工藝及各種檢測分析技術；從半導體器件物理原理出發(fā)闡述了金剛石膜粒子探測器的性能及與材料間內(nèi)在聯(lián)系。詳盡報道了國內(nèi)外該領域的研究動態(tài)?！督饎偸ちＷ犹綔y器材料》可供從事金剛石膜研究和生產(chǎn)的科研人員、工程技術人員和研究生閱讀參考，也可作為光電子材料與元器件等有關專業(yè)的教學參考書。

作者簡介

　　夏義本，祖籍浙江寧波，1942年12月生于上海。1965年畢業(yè)予復旦大學物理系半導體物理專業(yè)，1981年獲中國科學院理學碩士，曾任德國維爾茨堡大學物理研究所訪問學者、德國弗勞恩霍夫薄膜及表面技術研究所客座教授、日本東北大學材料研究所客座教授。1965-1978年在北京電子管廠從事半導體元器件研發(fā)工作：1981-1994年在上?？萍即髮W材料科學與工程系歷任教授、功能薄膜材料與器件研究室主任、系主任；1994年后歷任上海大學材料科學與工程學院博士生導師、首聘二級教授、院長。2013年初退休。

圖書目錄

叢書序
前言
第一章緒論
1．1 金剛石膜的結構
1．2 金剛石膜的優(yōu)異特性
1．3 化學氣相沉積法金剛石膜的制備技術
1．4 金剛石膜在光電領域中的主要應用
參考文獻
第二章自支撐金剛石膜的制備
2．1 實驗設備及原理介紹
2．2 金剛石膜的制備工藝研究
2．3 自支撐金剛石薄膜的性能
參考文獻
第三章金剛石膜表面導電性能研究
3．1 引言
3．2 實驗過程
3．3 自支撐金剛石膜的導電性能
3．4 本章小結
參考文獻
第四章金剛石膜肖特基場效應晶體管
4．1 引言
4．2 金剛石與金屬電極的接觸特性
4．3 MESFET器件制備及性能研究
4．4 本章小結
參考文獻
第五章金剛石膜紫外光探測器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制備及測試
5．4 實驗結果與討論
5．5 ZnO/金剛石結構紫外光探測器的性能研究
5．6 本章小結
參考文獻
第六章金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應用
6．1 引言
6．2 氧化鋁襯底的碳離子預注入
6．3 氧化鋁上金剛石膜的成核分析
6．4 金剛石的厚膜生長及應力分析
6．5 金剛石薄膜/氧化鋁復合材料性質研究
參考文獻
第七章納米金剛石膜X射線探測器
7．1 納米金剛石膜的制備和性能表征
7．2 納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征
7．3 氫刻蝕對納米金剛石膜電學和光學性能的影響
7．4 強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征
參考文獻
第八章金剛石膜α粒子探測器
8．1 CVD金剛石膜粒子探測器的研制
8．2 CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研制
參考文獻
……
第九章粒子探測器讀出電路電子系統(tǒng)
第十章金剛石膜生物傳感器及在其它光電聲等領域應用