薄膜真空沉積中的等離子體探測方法與技術

定　價：￥78.00

作　者：	陳吉堃著
出版社：	科學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787030699152	出版時間：	2021-10-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	148	字數(shù)：

內容簡介

　　低溫等離子體被廣泛應用于脈沖激光沉積、磁控濺射、等離子體增強化學氣相沉積等現(xiàn)代半導體薄膜真空沉積技術中，并承擔著薄膜組分物質輸運、薄膜形核與生長動力學調控等關鍵性角色。由于等離子體性質是聯(lián)系薄膜真空沉積條件與沉積性能的關鍵性紐帶，以對等離子體性質的表征與探測為突破口并建立其與薄膜沉積條件和性能之間的基礎關系，有助于從理論角度為薄膜沉積條件的設計與動力學過程優(yōu)化提供依據(jù)?！侗∧ふ婵粘练e中的等離子體探測方法與技術》結合作者的長期相關研究系統(tǒng)介紹了低溫等離子體的常用探測方法；重點結合脈沖激光沉積實例對等離子體與背景氣體間復雜的物理碰撞與化學反應，以及對薄膜沉積的基礎性影響關系作詳細介紹。

作者簡介

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圖書目錄

目錄
前言
第1章等離子體技術與薄膜真空沉積 1
1.1 低溫等離子體概述 1
1.2 低溫等離子體的產生 4
1.3 應用等離子體技術的薄膜真空沉積方法 7
1.4 低溫等離子體的測量與表征方法 15
1.5 應用于薄膜真空沉積的等離子體綜合探測平臺 17
1.6 本章小結 22
參考文獻 22
第2章等離子體的直接探測技術 24
2.1 朗繆爾探針技術 24
2.2 應用于低溫等離子體探測的質譜技術概述 32
2.3 本章小結 35
參考文獻 36
第3章等離子體的間接表征技術 37
3.1 發(fā)射光譜技術 37
3.2 等離子體成像技術 46
3.3 本章小結 49
參考文獻 49
第4章脈沖激光沉積（1）：激光誘導等離子體的初始性質 50
4.1 脈沖激光誘導等離子體的產生與傳播機理 51
4.2 脈沖激光誘導初始等離子體的離子特性 59
4.3 脈沖激光誘導等離子體中的電子性質 63
4.4 脈沖激光誘導非金屬單質的等離子體性質 70
4.5 脈沖激光沉積法生長合金化合物 75
4.6 本章小結 78
參考文獻 78
第5章脈沖激光沉積（2）：等離子體與背景氣體的物理作用 80
5.1 等離子體與背景氣體間的相互作用 80
5.2 氣體平均碰撞自由程與等離子體傳輸模式 81
5.3 氧化性背景氣體壓力對脈沖激光沉積的影響關系 85
5.4 惰性氣體壓力對脈沖激光沉積的影響關系 88
5.5 盧瑟福背散射與彈性反沖探測分析技術 93
5.6 本章小結 95
參考文獻 95
第6章脈沖激光沉積（3）：等離子體與背景氣體間化學反應 97
6.1 氧氣背景氣體壓力對等離子體組分的調控關系 97
6.2 氧氣下脈沖激光沉積切削能量密度對等離子體組分的調控關系 104
6.3 氧氣背景氣體下脈沖激光沉積中金屬元素的普適性氧化規(guī)律 107
6.4 脈沖激光沉積氧化物薄膜中氧元素的來源追蹤 110
6.5 3-YSZ、Ca3Co4O9脈沖激光沉積中的等離子體化學反應 114
6.6 本章小結 120
參考文獻 120
第7章脈沖激光沉積（4）：N2O強氧化性氣體下的等離子體反應 122
7.1 N2O背景氣體下脈沖激光誘導等離子體特性舉例 122
7.2 N2O背景氣體中等離子體化學反應的普適性規(guī)律 125
7.3 N2O背景氣體中等離子體的離子動能 128
7.4 N2O背景氣體下氧化物脈沖激光沉積薄膜中的氧元素追蹤 132
7.5 本章小結 134
參考文獻 134
第8章脈沖激光沉積（5）：脈沖氣體交叉反應切削 136
8.1 脈沖氣體交叉反應切削沉積技術簡介 136
8.2 脈沖氣體交叉反應沉積的等離子體綜合探測平臺 137
8.3 從等離子體角度討論脈沖氣體交叉反應沉積的技術特點 137
8.4 本章小結 145
參考文獻 145
第9章總結與展望 147