納米加工技術與原理

　　《納米加工技術與原理》的出版是因為我們意識到微納結構加工的新知識層出不窮，現(xiàn)有數(shù)據(jù)庫中逐漸出現(xiàn)了空白。目前，已經(jīng)非常完善但仍然在高速發(fā)展的微電子加工技術讓我們擁有了一系列對半導體、絕緣體及金屬等薄膜進行沉積、圖形化及刻蝕的工具和方法，這些工具和方法在許多文獻和書籍中都有詳細的描述和記錄，也持續(xù)在新興的納米技術產(chǎn)業(yè)發(fā)揮著巨大的作用。然而，除了這些已經(jīng)存在的方法外，近些年來針對納米尺度與精度的結構加工涌現(xiàn)了眾多新工具，其中，如原子層沉積，已經(jīng)逐漸在微電子生產(chǎn)線上獲得應用。也有部分尖端工具，如氦離子束納米加工，在未來短期內(nèi)不太可能實現(xiàn)大批量生產(chǎn)，但是作為一類強大的工具，它們可以制作以前無法想象的納米器件。介于二者之間，還有許多技術到目前為止仍沒有出現(xiàn)在標準的微納加工手冊中，這些技術的共同特征是能夠對物質進行近原子尺度和精度的結構加工。因此，我們認為有必要將這些技術編寫成一本參考書，作為對以前那些專門描述先進CMOS集成電路工藝的書籍的補充。該書不會對CMOS工藝進行介紹，并不是因為它們不屬于“真正的納米加工方法”，而是因為它們在過去很多年是緩慢演化而來的，大家已經(jīng)比較熟悉，有很多其他的書籍進行了專門介紹。《納米加工技術與原理》兼顧了納米加工的基礎原理和應用實例。潛在的讀者，即所有對納米結構加工新方法感興趣的人員，包括工業(yè)界的工藝工程師、學術研究人員、研究生及高年級本科生。該書也可以作為教材為研究生開設一個學期的納米加工方面的課程，盡管不是專門為教學目標而編寫。

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