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內(nèi)容簡介

　　本書主要介紹集成電路制造的各種設(shè)備，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介紹主要集成電路制造設(shè)備，如被稱為集成電路制造的“四大金剛”離子注入機(jī)、光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備。從這些設(shè)備在集成電路制造中的各自作用入手，圖文并茂地圍繞“精”這個(gè)字，體現(xiàn)集成電路制造設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性、復(fù)雜度和極具挑戰(zhàn)性的特點(diǎn)，一方面以青少年喜聞樂見的方式普及核心設(shè)備的基礎(chǔ)知識(shí)，另一方面引發(fā)他們未來從事集成電路制造設(shè)備研發(fā)的興趣。

作者簡介

　　楊曉峰，復(fù)旦大學(xué)教授，博士生導(dǎo)師，上海超精密運(yùn)動(dòng)控制與檢測工程技術(shù)研究中心主任。在日本尼康精密公司精密機(jī)器開發(fā)本部工作14年，任職主任研究員，主要從事超大規(guī)模集成電路制造中最關(guān)鍵的半導(dǎo)體曝光裝置暨高端光刻機(jī)的生產(chǎn)、制造與研發(fā)工作。研究方向?yàn)槌苓\(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的系統(tǒng)工程技術(shù)的研究?，F(xiàn)任國家重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組技術(shù)專家、02專項(xiàng)光刻機(jī)指揮部成員，主持自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目一項(xiàng)，國家重大科技專項(xiàng)02專項(xiàng)課題一項(xiàng)。近幾年在期刊和國際會(huì)議上發(fā)表論文20余多篇；申請(qǐng)發(fā)明專利22項(xiàng)。

圖書目錄

第一章 “精密”之旅——走近集成電路制造設(shè)備
“摩爾定律”的魔法術(shù)
空氣潔凈度
精密的尺度
“納米城市”的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
第二章 “精”彩紛呈——揭開集成電路制造設(shè)備的神秘面紗
走進(jìn)潔凈室
潔凈室的特別之處
集成電路制造設(shè)備的“十八般武藝”
第三章精準(zhǔn)的“注射”高手——離子注入機(jī)
芯片為什么需要“雜質(zhì)”
“注射”是一門大學(xué)問
“蓄勢待發(fā)”的離子源
“萬箭齊發(fā)”的束線
“工藝腔”里的故事
第四章精湛的“攝影”大師——光刻機(jī)
走近光刻機(jī)
如何評(píng)判光刻機(jī)的“武功”
光刻機(jī)的“光”是怎么來的
光刻機(jī)“照相”的過程
光刻機(jī)內(nèi)部的“跑步冠軍”
光刻機(jī)里的“大哥大”——極紫外光刻機(jī)
第五章精密的“雕刻”行家——刻蝕機(jī)
“雕刻”行家也用“刀”嗎
神秘的“雕刻魔法”之濕法刻蝕
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蝕
“雕刻”行家特殊的工作環(huán)境
如何評(píng)估“雕刻”的水平
第六章精確的“制衣”能手——薄膜沉積設(shè)備
芯片喜歡穿什么樣的“衣服”
“制衣”能手的絕活兒
物理“制衣”法——物理氣相沉積設(shè)備
化學(xué)“制衣”法——化學(xué)氣相沉積設(shè)備
原子“制衣”法——原子層沉積設(shè)備
第七章日益“精”進(jìn)——集成電路制造設(shè)備的競爭格局
“英雄輩出”——集成電路制造設(shè)備主要廠商
“群雄逐鹿”——集成電路制造設(shè)備的市場格局
“奮起直追”——中國集成電路制造設(shè)備的發(fā)展之路
參考文獻(xiàn)
后記