精芯打造：集成電路的制造設備

定　價：￥55.00

作　者：	楊曉峰著
出版社：	上海科學普及出版社
叢編項：	“芯”路叢書
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787542782755	出版時間：	2022-09-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：		字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書主要介紹集成電路制造的各種設備，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介紹主要集成電路制造設備，如被稱為集成電路制造的“四大金剛”離子注入機、光刻機、刻蝕設備和薄膜沉積設備。從這些設備在集成電路制造中的各自作用入手，圖文并茂地圍繞“精”這個字，體現(xiàn)集成電路制造設備的技術先進性、復雜度和極具挑戰(zhàn)性的特點，一方面以青少年喜聞樂見的方式普及核心設備的基礎知識，另一方面引發(fā)他們未來從事集成電路制造設備研發(fā)的興趣。

作者簡介

　　楊曉峰，復旦大學教授，博士生導師，上海超精密運動控制與檢測工程技術研究中心主任。在日本尼康精密公司精密機器開發(fā)本部工作14年，任職主任研究員，主要從事超大規(guī)模集成電路制造中最關鍵的半導體曝光裝置暨高端光刻機的生產(chǎn)、制造與研發(fā)工作。研究方向為超精密運動系統(tǒng)的系統(tǒng)工程技術的研究。現(xiàn)任國家重大專項（02專項）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組技術專家、02專項光刻機指揮部成員，主持自然科學基金面上項目一項，國家重大科技專項02專項課題一項。近幾年在期刊和國際會議上發(fā)表論文20余多篇；申請發(fā)明專利22項。

圖書目錄

第一章 “精密”之旅——走近集成電路制造設備
“摩爾定律”的魔法術
空氣潔凈度
精密的尺度
“納米城市”的質(zhì)量標準
第二章 “精”彩紛呈——揭開集成電路制造設備的神秘面紗
走進潔凈室
潔凈室的特別之處
集成電路制造設備的“十八般武藝”
第三章精準的“注射”高手——離子注入機
芯片為什么需要“雜質(zhì)”
“注射”是一門大學問
“蓄勢待發(fā)”的離子源
“萬箭齊發(fā)”的束線
“工藝腔”里的故事
第四章精湛的“攝影”大師——光刻機
走近光刻機
如何評判光刻機的“武功”
光刻機的“光”是怎么來的
光刻機“照相”的過程
光刻機內(nèi)部的“跑步冠軍”
光刻機里的“大哥大”——極紫外光刻機
第五章精密的“雕刻”行家——刻蝕機
“雕刻”行家也用“刀”嗎
神秘的“雕刻魔法”之濕法刻蝕
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蝕
“雕刻”行家特殊的工作環(huán)境
如何評估“雕刻”的水平
第六章精確的“制衣”能手——薄膜沉積設備
芯片喜歡穿什么樣的“衣服”
“制衣”能手的絕活兒
物理“制衣”法——物理氣相沉積設備
化學“制衣”法——化學氣相沉積設備
原子“制衣”法——原子層沉積設備
第七章日益“精”進——集成電路制造設備的競爭格局
“英雄輩出”——集成電路制造設備主要廠商
“群雄逐鹿”——集成電路制造設備的市場格局
“奮起直追”——中國集成電路制造設備的發(fā)展之路
參考文獻
后記