產(chǎn)業(yè)專(zhuān)利分析報(bào)告：高端光刻機(jī)（第84冊(cè)）

定　價(jià)：￥70.00

作　者：	國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局學(xué)術(shù)委員會(huì) 著
出版社：	知識(shí)產(chǎn)權(quán)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787513081955	出版時(shí)間：	2022-07-01	包裝：	平裝
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	172	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書(shū)是高端光刻機(jī)領(lǐng)域的專(zhuān)利分析報(bào)告，從該領(lǐng)域的發(fā)展概況、專(zhuān)利壁壘指數(shù)模型研究、競(jìng)爭(zhēng)情報(bào)、主要技術(shù)分支專(zhuān)利等方面入手，充分結(jié)合相關(guān)數(shù)據(jù)展開(kāi)分析，得出扎實(shí)的研究結(jié)論和相關(guān)建議。本書(shū)是企業(yè)了解高端光刻機(jī)領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀并預(yù)測(cè)未來(lái)走向，以及做好專(zhuān)利預(yù)警所需的必備工具書(shū)。

作者簡(jiǎn)介

　　國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局學(xué)術(shù)委員會(huì)為國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局內(nèi)設(shè)的專(zhuān)利審查業(yè)務(wù)學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)，本年度8種分析報(bào)告的承辦方為優(yōu)選的各地專(zhuān)利代理事務(wù)所、律師事務(wù)所以及相關(guān)行業(yè)協(xié)會(huì)。每種報(bào)告的課題組約由20人組成，分別進(jìn)行數(shù)據(jù)收集、整理、分析、制圖、審核、統(tǒng)稿。

圖書(shū)目錄

第1章概況
1.1研究背景
1.1.1技術(shù)發(fā)展概況
1.1.2產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀
1.1.3產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)
1.2研究對(duì)象和方法
1.2.1研究對(duì)象
1.2.2研究方法
1.2.3相關(guān)事項(xiàng)和約定
第2章專(zhuān)利壁壘指數(shù)模型研究
2.1研究意義
2.2研究對(duì)象
2.3研究?jī)?yōu)勢(shì)
2.4專(zhuān)利壁壘指數(shù)模型
2.4.1建立流程
2.4.2相關(guān)因素
第3章高端光刻機(jī)全球競(jìng)爭(zhēng)情報(bào)分析
3.1高端光刻機(jī)專(zhuān)利總體競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)
3.1.1總體申請(qǐng)趨勢(shì)
3.1.2原創(chuàng)目標(biāo)國(guó)家地區(qū)專(zhuān)利申請(qǐng)分布
3.1.3重要申請(qǐng)人分析
3.2全球科技文獻(xiàn)技術(shù)情報(bào)分析
3.3各領(lǐng)域申請(qǐng)趨勢(shì)及布局趨勢(shì)分析
3.3.1曝光系統(tǒng)
3.3.2工件臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)
3.3.3環(huán)境與真空
3.4ASML專(zhuān)利分析
3.4.1ASML成長(zhǎng)經(jīng)歷
3.4.2ASML專(zhuān)利申請(qǐng)與布局
3.4.3ASML科技文獻(xiàn)信息分析
3.5中國(guó)申請(qǐng)人專(zhuān)利分析
3.5.1專(zhuān)利申請(qǐng)趨勢(shì)分析
3.5.2申請(qǐng)人構(gòu)成分析
3.5.3申請(qǐng)人的各技術(shù)分支申請(qǐng)分布
3.5.4重要申請(qǐng)人分析
3.6本章小結(jié)
第4章 EUV光源專(zhuān)利分析
4.1EUV光源技術(shù)介紹
4.2專(zhuān)利競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)分析
4.2.1申請(qǐng)態(tài)勢(shì)
4.2.2專(zhuān)利區(qū)域分布
4.2.3重要申請(qǐng)人分析
4.3技術(shù)路線分析
4.3.1提高轉(zhuǎn)換效率
4.3.2減少污染
4.3.3提高穩(wěn)定性
4.4重要專(zhuān)利技術(shù)介紹
4.5全球科技文獻(xiàn)情報(bào)分析
4.5.1EUV光源提高轉(zhuǎn)換效率
4.5.2防止EUV光源污染
4.5.3提高穩(wěn)定性
4.5.4全球科技文獻(xiàn)情報(bào)分析小結(jié)
4.6技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)
4.7專(zhuān)利壁壘研究
4.8技術(shù)未來(lái)發(fā)展預(yù)測(cè)與中國(guó)技術(shù)發(fā)展路線
4.8.1借鑒G公司準(zhǔn)分子激光器技術(shù)可行性分析
4.8.2人才戰(zhàn)略資源導(dǎo)航
4.8.3專(zhuān)利可利用性淺析
4.9本章小結(jié)
第5章投影物鏡專(zhuān)利分析
5.1投影物鏡技術(shù)介紹
5.2專(zhuān)利競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)分析
5.2.1申請(qǐng)態(tài)勢(shì)
5.2.2專(zhuān)利區(qū)域分布
5.2.3主要申請(qǐng)人分析
5.3技術(shù)路線分析
5.3.1膜層設(shè)計(jì)
5.3.2多鏡投影物鏡系統(tǒng)整體設(shè)計(jì)
5.4重要專(zhuān)利技術(shù)介紹
5.5全球科技文獻(xiàn)情報(bào)分析
5.6技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)
5.7投影物鏡專(zhuān)利壁壘研究
5.8反射鏡鍍膜專(zhuān)利技術(shù)的充分利用
5.9本章小結(jié)
第6章主要結(jié)論和建議
6.1主要結(jié)論
6.2主要建議
附錄
附錄1申請(qǐng)人名稱(chēng)約定表
附錄2EUV光刻機(jī)重要專(zhuān)利列表
附錄3可被借鑒的部分專(zhuān)利列表
圖索引
表索引