多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器

　　《多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器》對多晶硅納米薄膜的壓阻特性及其在壓力傳感器上的應(yīng)用進行了研究。《多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器》共分為五章，章主要介紹了多晶硅納米薄膜及壓力傳感器的研究現(xiàn)狀，第二章主要介紹了工藝條件對多晶硅納米薄膜特性的影響，第三章主要介紹了多晶硅納米薄膜的楊氏模量，第四章主要介紹了多晶硅納米薄膜的壓力傳感器應(yīng)用，第五章主要介紹了多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測試與分析?！抖嗑Ч杓{米薄膜壓阻式壓力傳感器》可以作為高等學(xué)校微電子技術(shù)和材料科學(xué)與工程等相關(guān)專業(yè)的參考書。

　　陸學(xué)斌：：：：：：： 陸學(xué)斌，哈爾濱理工大學(xué)軟件與微電子學(xué)院副教授，哈爾濱工業(yè)大學(xué)博士。2010年畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院。目前主要從事半導(dǎo)體材料、傳感器、模擬和數(shù)字集成電路等方面的相關(guān)研究。發(fā)表Ei或SCI檢索論文12篇，教改論文4篇；主持黑龍江省自然科學(xué)基金面上項目1項、黑龍江省教育科學(xué)十三五規(guī)劃課題1項、黑龍江省高等教育學(xué)會十三五規(guī)劃課題1項；申請并獲授權(quán)實用新型專利2項；出版教材4部。2016年獲哈爾濱理工大學(xué)校級優(yōu)秀教師，2018年獲哈爾濱理工大學(xué)校級三全育人之先進個人。