表面去污技術及應用

第1章　聲波技術的基本原理和應用  001
1.1 引言  002
1.2 聲波清洗的基本原理  002
1.2.1 超聲處理的基礎知識及其在顆粒清除中的作用  003
1.2.2 聲波清洗的歷史、類別和優(yōu)點  004
1.2.3 聲波清洗的原理  006
1.3 聲波技術的應用趨勢  007
1.3.1 聲波清洗在微電子工業(yè)中的重要性  008
1.3.2 在牙科中的應用  012
1.3.3 在海洋生物學中的應用  013
1.3.4 超聲波在食品工業(yè)中的應用  016
1.3.5 過濾過程中的膜清洗  019
1.3.6 創(chuàng)新的應用  020
1.4 利用聲波清除污染物和顆粒物  022
1.4.1 污染物類型  022
1.4.2 顆粒物去除的常規(guī)技術  022
1.4.3 聲學去除微粒和納米顆粒  025
1.5 小結  027
參考文獻  027

第2章　可剝離涂層在清除表面污染物中的應用  034
2.1 引言  035
2.2 涂層簡介  035
2.2.1 涂層性能  036
2.3 可剝離涂層的應用  036
2.3.1 光學表面  036
2.3.2 其他應用  042
2.4 關于可剝離涂層的問題  056
2.5 小結  057
致謝  057
免責聲明  058
參考文獻  058

第3章　二氧化碳雪清洗應用  068
3.1 引言  069
3.2 CO2 雪清洗-背景  069
3.2.1 熱力學  069
3.2.2 清洗機理  069
3.3 設備和過程控制  070
3.3.1 噴嘴和設備  070
3.3.2 過程控制  070
3.4 應用  071
3.4.1 表面科學  072
3.4.2 望遠鏡鏡面的清洗  074
3.4.3 半導體應用  075
3.4.4 薄膜  077
3.4.5 其他應用  077
3.5小結  078
參考文獻  078

第4章　固態(tài)二氧化碳（干冰）球粒噴射在去除表面污染物中的應用  083
4.1 引言  084
4.2 表面污染和表面清潔度等級  085
4.3 CO2 球粒清洗影響因素  086
4.3.1 相行為  086
4.3.2 干冰的性質  087
4.3.3 CO2 球粒清洗機理  087
4.3.4 工藝說明  088
4.4 清洗系統  090
4.4.1 球粒生產  090
4.4.2 輸送系統  092
4.4.3 噴嘴  093
4.4.4 輔助設備  094
4.5 應用實例  094
4.5.1 半導體工藝組件的清洗  097
4.5.2 化學氣相沉積反應釜清洗  097
4.5.3 金屬清洗和表面處理  097
4.5.4 工業(yè)織物清洗  098
4.5.5 食品與飲料加工設備  098
4.5.6 害蟲除滅  098
4.5.7 醫(yī)療器械清洗  099
4.5.8 藥物低溫球磨  099
4.5.9 核去污  100
4.5.10 設施維護  101
4.5.11 文物保護應用  101
4.5.12 油田工具清洗  102
4.5.13 清洗通風管和排水管  102
4.6 其他  102
4.6.1 成本  102
4.6.2 優(yōu)點和缺點  104
4.7小結  105
致謝  106
免責聲明  106
參考文獻  106

第5 章　液態(tài)CO2 在去除表面污染物中的應用  121
5.1 引言  122
5.2 表面污染和清潔度  122
5.3 液態(tài)CO2 的特征  123
5.3.1 CO2 為稠密相流體  123
5.3.2 液態(tài)CO2  123
5.3.3 液態(tài)CO2 清洗原理  128
5.3.4 清洗系統  129
5.3.5 應用實例  131
5.4 其他  134
5.4.1 成本  134
5.4.2 液態(tài)CO2 清洗的優(yōu)點和缺點  134
5.5 小結  135
致謝  136
免責聲明  136
參考文獻  136

第6章　超臨界CO2在去除表面污染物中的應用  149
6.1 引言  150
6.2 表面污染和表面清潔度  150
6.3 應用領域  151
6.3.1 超臨界CO2  151
6.3.2 應用實例  158
6.4 其他  163
6.4.1 成本  163
6.4.2 SCCO2 清洗的優(yōu)點和缺點  164
6.5 小結  165
致謝  165
免責聲明  165
參考文獻  166

第7章　激光清洗工藝在高價值制造業(yè)中的應用  179
7.1 激光清洗工藝和需求  180
7.1.1 干法激光清洗  180
7.1.2 濕法  蒸汽激光清洗  181
7.1.3 角激光清洗  181
7.1.4 激光沖擊清洗  181
7.1.5 激光輔助光動力清洗  182
7.1.6 用于激光清洗的普通激光系統  182
7.1.7 工業(yè)組件中發(fā)現的典型污染物  183
7.2 激光清洗在各個行業(yè)中的應用  183
7.2.1 航空航天領域的激光清洗  184
7.2.2 汽車行業(yè)的激光清洗  187
7.2.3 核工業(yè)中的激光清洗  190
7.2.4 工具和模具中的激光清洗  192
7.2.5 碳纖維增強聚合物的激光清洗  195
7.3 小結  201
參考文獻  201

第8章　等離子體去污的基本原理和應用  206
8.1 引言  207
8.2 等離子體的基本原理和性質  208
8.2.1 等離子體基礎  208
8.2.2 等離子體-表面相互作用  209
8.2.3 去污等離子體源  209
8.2.4 等離子體去污的優(yōu)勢  216
8.3 等離子體技術在生物材料醫(yī)學應用中的實踐  217
8.3.1 去污和殺菌  218
8.3.2 改善附著力和表面活化  220
8.3.3 增強潤濕性和生物相容性  221
8.4 半導體制造中的等離子體清洗  222
8.4.1 等離子體誘導的光刻膠剝離和去污  224
8.4.2 硅基板的等離子體去污  225
8.4.3 半導體生產線后端的等離子體去污  226
8.5 多種表面精密清洗的重要性  227
8.5.1 光伏太陽能電池清洗  227
8.5.2 多用途光學組件清洗  232
8.5.3 電子顯微鏡的等離子體清洗  235
8.5.4 考古文物的恢復和保存  237
8.5.5 等離子體強化清洗的其他應用  237
8.6 小結  239
參考文獻  240

第9章　紫外-臭氧表面去污技術應用  250
9.1 引言  251
9.2 表面污染與清潔度等級  251
9.3 紫外-臭氧去污原理  252
9.3.1 與去污相關的工藝參數  255
9.4 應用案例  259
9.4.1 金屬表面去污  260
9.4.2 參考質量清洗  260
9.4.3 玻璃和光學材料  261
9.4.4 太陽風樣品收集器  261
9.4.5 半導體和電子元器件  262
9.4.6 探針  262
9.4.7 聚合物表面  263
9.4.8 培養(yǎng)箱的去污  263
9.4.9 微量元素分析樣品的制備  263
9.4.10 紡織品和織物  264
9.4.11 放射性污染清除  264
9.5 其他  264
9.5.1 成本  264
9.5.2 UV-O3 去污的優(yōu)點和缺點  265
9.6小結  266
致謝  266
免責聲明  266
參考文獻  267

第10章　小顆粒物的靜電去除和操作及表面去污應用  277
10.1 引言  278
10.2 面污染與清潔度等級  278
10.3 靜電去污相關因素  279
10.3.1 黏附力  279
10.3.2 電場中顆粒物的清除  280
10.3.3 顆粒物傳輸  281
10.3.4 介電泳力  282
10.3.5 顆粒物的摩擦帶電  282
10.4 應用實例  283
10.4.1 微電子制造產品表面的去污  283
10.4.2 太陽能電池板和光伏組件各種表面灰塵的清除  284
10.4.3 網狀物和薄片的去污  285
10.4.4 聚變裝置中粉塵顆粒的清除  285
10.4.5 氣固分離中顆粒物收集器的去污  285
10.4.6 靜電噴霧表面消毒  286
10.4.7 電荷耦合器件的表面去污  286
10.4.8 壁虎仿生黏附材料  286
10.4.9 泵送絕緣流體  286
10.4.10 小顆粒物的微操作  287
10.4.11 汽車擋風玻璃和攝像頭的去污  287
10.4.12 家禽設施的減排  287
10.5小結  288
致謝  288
免責聲明  288
參考文獻  288

第11章　氣相去污在清除表面污染物中的應用  301
11.1 引言  302
11.2 表面污染與清潔度等級  302
11.3 氣相去污應用  303
11.3.1 基本原理  303
11.3.2 工藝參數  304
11.3.3 去污系統  306
11.3.4 應用案例  307
11.4 氣相去污的幾個問題  319
11.4.1 成本效益  319
11.4.2 氣相去污的優(yōu)點和缺點  320
11.5小結  321
致謝  321
免責聲明  321
參考文獻  321

第12章　高速沖擊空氣射流去污技術的應用  343
12.1 引言  344
12.2 空氣射流去污的基本原理  344
12.2.1 儀器和參數  344
12.2.2 去污率的定義  347
12.2.3 操作條件對去污率η 的影響  348
12.2.4 環(huán)境狀況  353
12.2.5 吹掃速度的影響  355
12.3 利用空氣射流的新去污方法  356
12.3.1 振動空氣射流法  356
12.3.2 脈沖空氣射流法  358
12.3.3 其他去污方法  358
12.4 技術應用尚待解決的問題  361
12.5 小結  363
參考文獻  363

第13章　微磨技術在精密去污與加工中的應用  365
13.1 引言  366
13.2 表面污染和表面清潔度等級  366
13.3 應用領域  367
13.3.1 基本注意事項  367
13.3.2 微磨技術  369
13.3.3 去污處理系統  373
13.3.4 應用實例  374
13.4 其他  380
13.4.1 成本  381
13.4.2 優(yōu)點和缺點  381
13.5 小結  382
致謝  382
免責聲明  382
參考文獻  382

第14章　潔凈室擦拭布在清除表面污染中的應用  393
14.1 清除污染物的擦除原理  394
14.1.1 為什么要擦除?  394
14.1.2 什么是潔凈室中的污染?  394
14.1.3 為什么擦拭有效?  395
14.1.4 如何擦拭?  395
14.1.5 擦拭方法  396
14.2 擦拭布類型  397
14.2.1 專業(yè)術語  397
14.2.2 針織合成擦拭布  399
14.2.3 超細纖維擦拭布  400
14.2.4 機織擦拭布  400
14.2.5 無紡布擦拭布  401
14.2.6 泡沫擦拭布  402
14.2.7 潔凈室擦拭布選擇  403
14.3 擦拭布測試  403
14.4 擦拭布質量評估方法  404
14.4.1 顆粒物和纖維  405
14.4.2 離子  410
14.4.3 可萃取物質  410
14.4.4 使用箱須圖評估擦拭布的一致性作為品質的衡量標準  411
14.4.5 擦拭布測試方法的優(yōu)缺點  415
14.5 自動化的重要性  415
14.5.1 擦拭布邊緣處理  415
14.5.2 擦拭布的自動化生產  416
14.6 應用領域  417
14.6.1 半導體  417
14.6.2 磁盤驅動器  418
14.6.3 制藥  418
14.6.4 生物制劑  418
14.6.5 醫(yī)療器械  418
14.7 擦拭布技術現狀  419
14.8 潔凈室擦拭布的未來發(fā)展  419
參考文獻  420

第15章　微生物技術在清除表面污染中的應用  422
15.1 引言  423
15.2 表面污染和清潔度等級  423
15.3 應用  424
15.3.1 微生物制劑  424
15.3.2 微生物去污原理  424
15.3.3 零部件去污機  425
15.3.4 去污液和微生物混合物  425
15.3.5 污染物類型  426
15.3.6 基體類型  426
15.3.7 應用案例  427
15.4 其他  433
15.4.1 成本  433
15.4.2 微生物去污的優(yōu)點和缺點  434
15.5 小結  435
致謝  435
免責聲明  435
參考文獻  436

第16章　離子液體在清除表面污染物中的應用  442
16.1 引言  443
16.2 表面污染和清潔度等級  443
16.3 應用  444
16.3.1 縮略語和術語  445
16.3.2 一般特征  446
16.3.3 熱力學性質  448
16.3.4 揮發(fā)性  449
16.3.5 溶解度  449
16.3.6 黏度  450
16.3.7 低共熔溶劑  452
16.3.8 應用案例  453
16.4 其他  464
16.4.1 毒性問題  464
16.4.2 成本  465
16.4.3 離子液體的優(yōu)點和缺點  467
16.5 小結  467
致謝  468
免責聲明  468
參考文獻  468

第17章　干蒸汽去污技術在清除表面污染物中的應用  491
17.1引言  492
17.2表面污染和清潔度等級  492
17.3 精密蒸汽去污技術背景  493
17.3.1 蒸汽去污原理  493
17.3.2 蒸汽去污系統和設備  494
17.3.3 操作注意事項  497
17.4 應用案例  497
17.4.1 不銹鋼基質去污  497
17.4.2 飛機彈射座椅去污  498
17.4.3 鍍金藝術品去污  498
17.4.4 機械零件去污  498
17.4.5 網紋輥去污  498
17.4.6 光纖去污  498
17.4.7 電子元件去污  499
17.4.8 微生物污染表面去污  499
17.4.9 除草  499
17.4.10 放射性去污  500
17.4.11 食品去污  500
17.4.12 其他應用  500
17.5 其他考慮因素  501
17.5.1 成本效益  501
17.5.2 蒸汽去污的優(yōu)點和缺點  501
17.6 小結  502
致謝  502
免責聲明  502
參考文獻  502

第18章　超聲氣液去污系統在清除表面污染物中的應用  508
18.1 引言  509
18.2 表面污染和清潔度等級  509
18.3 超聲氣液去污技術背景  510
18.3.1 超聲氣液去污原理  511
18.3.2 方法和設備說明  511
18.3.3 應用案例  515
18.4 超聲氣液去污的優(yōu)點和缺點  521
18.4.1 精密去污  521
18.4.2 醫(yī)療應用  521
18.5小結  522
致謝  522
免責聲明  522
參考文獻  522

第19章　水冰噴射在清除表面污染物中的應用  527
19.1 引言  528
19.2 表面污染和表面清潔度等級  528
19.3 水冰去污的重要因素  532
19.3.1 冰的相行為  532
19.3.2 力學性能  532
19.3.3 噴冰機理  534
19.3.4 工藝說明  535
19.3.5 去污系統  536
19.4 應用實例  538
19.4.1 汽車零件  539
19.4.2 零件去毛刺  539
19.4.3 半導體晶圓去污  539
19.4.4 電子和光子學應用  540
19.4.5 核工業(yè)  540
19.4.6 設施退役  541
19.4.7 歷史建筑修復  542
19.4.8 回收再利用  542
19.4.9 管道去污  542
19.4.10 油田設備去污  542
19.5 其他考慮  543
19.5.1 成本  543
19.5.2 優(yōu)點和缺點  544
19.6 小結  545
致謝  545
免責聲明  545
參考文獻  545

第20章　拋丸在管道內表面非水去污中的應用  553
20.1 引言  554
20.2管道內表面污染  555
20.2.1 污染類型  555
20.2.2 污染的影響  556
20.3 背景  557
20.3.1 流體清潔度等級  557
20.3.2 非水拋丸去污方法  561
20.3.3 操作注意事項  564
20.4 應用實例  565
20.5 優(yōu)點和缺點  566
20.5.1 優(yōu)點  567
20.5.2 缺點  567
20.6 小結  567
致謝  568
免責聲明  568
參考文獻  568