目 錄
第 1 章 緒 論 (001)
1 . 1 MEMS 基本特點 (001)
1 . 2 MEMS 在各學科領域的應用研究 (003)
1 . 3 MEMS 研究內容 (005)
1 . 4 MEMS 發(fā)展簡史 (006)
1 . 5 工藝的發(fā)展 (007)
第 2 章 微機電系統(tǒng)力學基礎 (009)
1MEMS 尺寸效應 (009)
2 微機械的彈性梁力學問題 (011)
3流體力學 (012)
4黏附力 (013)
5靜電力 (015)
參考文獻 (016)
第 3 章 MEMS 工藝 (017)
3 . 1 光刻 (017)
3 . 2 淀積 (018)
3 . 3 腐蝕 (019)
3 . 4 鍵合 (020)
3 . 5 MEMS 工藝的發(fā)展趨勢 (026)
第 4 章 RF MEMS 器件設計微波基礎 (028)
4 . 1 微帶傳輸線 (028)
4 . 2 慢波共面波導傳輸線 (029)
4 . 3 兩端口微波網絡 (032)
4 . 4 微波濾波網絡 (035)
4 . 5 微尺度下微機械天線的電磁輻射和耦合理論 (036)
4 . 6 分形結構原理 (040)
4 . 7 分形天線的形式結構 (041)
4 . 8 分形自相似濾波原理 (044)
4 . 9 小結 (045)
參考文獻 (046)
第 5 章 RF MEMS 可重構天線 (050)
5 . 1 概述 (050)
5 . 2 典型的微波硅基 MEMS 可重構天線設計 (052)
5 . 3 硅基可重構天線設計 (057)
5 . 4 掩膜版的制作 (059)
5 . 5 天線的測試結果 (060)
5 . 6 典型的硅基 MEMS 可重構分形天線設計 (062)
5 . 7 Koch , Single-Arm Spiral , Double-Ring 分形天線的設計 (067)
5 . 8 小結 (073)
參考文獻 (074)
第 6 章 RF MEMS 可重構濾波器 (076)
6 . 1 概述 (076)
6 . 2 分布參數法設計微波濾波器 (079)
6 . 3 傳輸線理論基礎 (080)
6 . 4 帶通濾波器的設計方法 (083)
6 . 5 典型的 RF MEMS 可調濾波器 (088)
6 . 6 典型的電磁帶隙技術濾波器 (097)
6 . 7 基于 MEMS 技術的 EGS 結構用于可重構低通濾波器的設計舉例 (103)
6 . 8 MEMS 濾波器的未來發(fā)展 (109)
參考文獻 (110)
第 7 章 RF MEMS 可重構匹配網絡 (114)
7 . 1 概述 (114)
7 . 2 RF MEMS 可重構匹配網絡設計方法 (116)
7 . 3 RF MEMS 可重構匹配網絡上的電流 (119)
7 . 4 RF MEMS 可重構匹配網絡舉例 (119)
參考文獻 (123)
第 8 章 RF MEMS 諧振器 (127)
8 . 1 概述 (127)
8 . 2 RF MEMS 諧振器基本知識 (128)
8 . 3 RF MEMS 諧振器工藝 (130)
8 . 4 RF MEMS 諧振器研究 (131)
8 . 5 結論 (137)
參考文獻 (139)
第 9 章 MEMS 模擬與仿真 (142)
9 . 1 有限元分析介紹 (142)
9 . 2 有限元法分析計算的思路和做法 (143)
9 . 3 COMSOL Multiphysics 軟件 (144)
9 . 4 COMSOL 二次開發(fā)工具 (148)
9 . 5 其他微機電模擬仿真軟件 (149)
9 . 6 微機電模塊 (156)
第 10 章 微機電系統(tǒng)材料 (157)
1硅 (157)
2砷化鎵 (163)
3MEMS 中的陶瓷材料 (163)
4 形狀記憶合金材料 (164)
5 MEMS 中的磁致伸縮材料 (167)
6MEMS 中的流變體 (167)
第 11 章 MEMS 的發(fā)展趨勢 (170)
11 . 1 可調諧的網絡及其濾波器 (170)
11 . 2 開關 (171)
11 . 3 變容器和電感器 (171)
11 . 4 電路和移相器 (171)
11 . 5 小結 (172)
11 . 6 后續(xù) (172)
參考文獻 (175)
鄂公網安備 42010302001612號 