半導(dǎo)體制造過(guò)程的批間控制和性能監(jiān)控

　　本書基于當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)制造過(guò)程中存在的問(wèn)題，介紹了多種改進(jìn)的批間控制和過(guò)程監(jiān)控算法及其性能。第1章為半導(dǎo)體制造過(guò)程概述，包括國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。第2、3章介紹批間控制、控制性能和制造過(guò)程監(jiān)控。第4～7章討論機(jī)臺(tái)干擾、故障、度量時(shí)延對(duì)系統(tǒng)性能的影響，提出多種批間控制衍生算法，包括雙產(chǎn)品制程的EWMA批間控制算法、變折扣因子EWMA批間控制算法、偏移補(bǔ)償批間控制算法、基于T-S模糊模型的批間控制算法。第8～11章介紹半導(dǎo)體制造過(guò)程的性能和過(guò)程監(jiān)控方法，包括：設(shè)計(jì)模型評(píng)價(jià)指標(biāo)進(jìn)行建模質(zhì)量評(píng)估；提出基于時(shí)間序列模型的批間控制系統(tǒng)過(guò)程監(jiān)控方法，進(jìn)一步提出二維動(dòng)態(tài)批次過(guò)程的建模和穩(wěn)定性評(píng)價(jià)指標(biāo)；提出基于數(shù)據(jù)的故障預(yù)測(cè)方法。

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