集成電路先進工藝制造

　　集成電路是現(xiàn)代電子技術的核心，隨著集成電路產業(yè)迅猛發(fā)展，對專業(yè)人才的需求正急劇上升。本書從集成電路制造的工藝、設備、廠務 3 個關鍵內容出發(fā)，融合了集成電路制造的理論基礎和前沿實踐技術，深入淺出地探討了集成電路制造的全過程。通過大量工藝設備的使用案例分析、實驗數(shù)據(jù)、設備操作標準程序和教學實踐視頻，幫助讀者掌握實際操作。此外，在介紹當前主流制造技術的同時，還深入講解了產業(yè)界量產設備的基本原理、動力需求和應用實踐。上?？萍即髮W材料器件中心聚焦集成電路先進制造領域卓越工程師的人才培養(yǎng)任務，依托先進一流的設備資源、資深工程師團隊，聯(lián)合產業(yè)界專家，將集成電路先進制造理論與實踐有機結合，精心打造本書，旨在為讀者提供全面、深入且實用的學習資料。本書不僅適用于本科生、研究生，對從事集成電路制造工作的專業(yè)工程師和技術人員也具有參考價值。

　　陸衛(wèi)上?？萍即髮W教授，上?？萍即髮W物質科學與技術學院執(zhí)行院長、中國空間科學學會副理事長。曾任中國科學院紅外物理國家重點實驗室主任和中國科學院上海技術物理研究所所長。曾于 1996 年獲國家杰出青年基金資助，并主持國家自然科學基金委創(chuàng)新群體項目和國家重大科研儀器研制項目 （ 部門推薦 ）。研究方向為光電子材料與器件及其相關凝聚態(tài)物理、光子晶體及其光電技術中的應用。獲得國家自然科學二等獎、國家技術發(fā)明獎二等獎、求是杰出青年科學家獎等諸多獎項。在Science 等國際學術學術期刊上發(fā)表論文 300 余篇，授權國家發(fā)明專利 40 多項，出版《半導體量子器件物理》等專著 2 部。宋艷汝上海科技大學材料器件中心助理主任、技術負責人、副研究員。從事超導光電探測器及超導工藝技術研發(fā)。入選 2020 年上海市浦江人才計劃、 2024 年上海市科委探索者計劃， 獲得 2022—2023 年上海市大型科學儀器設施“共享服務（技術類）先進個人”稱號、2024 年全國光學與光學工程博士生學術聯(lián)賽“全國百強導師”稱號、2024 年上海市浦東新區(qū)明珠計劃“明珠工程師”稱號。在 Nature Communication、 Physical Review Letter、 Light：Science & Applications 等國際學術期刊上發(fā)表論文數(shù)十篇，授權國家發(fā)明專利近 10 項。主講量子材料與微納器件制造技術等實踐類集成電路先進工藝制造等課程。