圖1-5 滑閥泵工作原理圖

圖1-6為滑閥泵結(jié)構(gòu)圖?；y泵的實(shí)際產(chǎn)品中均采用滑閥桿與滑閥環(huán)做成一體的結(jié)構(gòu)。

圖1-6 滑閥泵結(jié)構(gòu)圖

為減少滑閥不平衡慣性力引起的振動(dòng)，對(duì)于單缸單級(jí)泵，要在驅(qū)動(dòng)輪的對(duì)面一側(cè)加平衡輪，并在驅(qū)動(dòng)輪上加不平衡質(zhì)量進(jìn)行平衡減振;對(duì)于雙缸滑閥泵，采用兩個(gè)滑閥長(zhǎng)度比一般為2:1，相差設(shè)置，再在驅(qū)動(dòng)輪上加不平衡質(zhì)量。對(duì)于三缸滑閥泵，有等長(zhǎng)缸和不等長(zhǎng)缸兩種形式，常見(jiàn)為不等長(zhǎng)缸。不等長(zhǎng)缸，中間是長(zhǎng)缸，兩側(cè)各為等長(zhǎng)短缸，長(zhǎng)缸與短缸壁為2:1，相差布置。中間滑閥產(chǎn)生的慣性力由兩側(cè)滑閥產(chǎn)生的相反方向的慣性力所平衡，因此，三缸滑閥泵的振動(dòng)很小，無(wú)需將泵固定在地基上就可以正常工作。

與旋片泵相似，滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，氣鎮(zhèn)孔開(kāi)在排氣口附近或端蓋上，以排出含有可凝性蒸氣。在極限壓力下，為減小泵油沖擊排氣閥產(chǎn)生的噪聲，也可以通過(guò)氣鎮(zhèn)閥向泵內(nèi)通人少量干燥空氣。

在滑閥泵出口處設(shè)置有油霧捕集器，用以捕集合回收由排氣閥排出的混在被抽氣體中的油滴，既可以節(jié)省泵油，又可以減少對(duì)環(huán)境的污染。油霧捕集器一般有三級(jí):第一級(jí)是碰撞罩，除去較大的油滴;第二級(jí)是不銹鋼填料，搜集小油滴;第三級(jí)是燒結(jié)的玻璃纖維，捕集可見(jiàn)油霧。

(5)羅茨真空泵

羅茨真空泵(簡(jiǎn)稱羅茨泵)是一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。根?jù)羅茨泵工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式羅茨泵和濕式羅茨泵，這種羅茨泵屬于低真空羅茨泵;此外還有中真空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵等。羅茨泵具有以下的特點(diǎn):

①在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

②設(shè)有旁通溢流閥，可在大氣壓力下啟動(dòng)，縮短了抽氣時(shí)間;

③轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)無(wú)摩擦，不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油;

④轉(zhuǎn)子形狀對(duì)稱，動(dòng)平衡性能良好，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動(dòng)，運(yùn)動(dòng)時(shí)噪聲低;

⑤結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，通常選臥式結(jié)構(gòu)，泵腔內(nèi)氣體垂直流動(dòng)，有利于被抽的灰塵或冷凝物的排除;

⑥選擇適宜的轉(zhuǎn)子型線和精細(xì)的研磨加工，可獲得較高的容積效率;

⑦運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。