正文

席卷全球市場

我的履歷書 作者:青木昌彥(Aoki Masahiko)


為超LSI技術研究所研制的步進機試行機1號于1978年7月完成。兩個月以后,超LSI技術研究所對佳能研制的等倍型曝光設備、日本光學研制的縮小投影型曝光設備,也就是步進機,同時進行了發(fā)布。

超LSI技術研究所對我們的研發(fā)工作給予了很高的評價。在此之前,美國馬薩諸塞州著名的精密儀器企業(yè)GCA公司已經將縮小投影型曝光設備進行了批量生產。此時,步進機作為新一代半導體制造設備的主角正式登上了世界的舞臺。

對于剛剛涉足步進機領域的尼康來說,GCA公司可謂最大的競爭對手。前文提到的前輩脅本先生,他開發(fā)的超顯微尼克爾鏡頭當時最大的客戶之一就是GCA公司。

其實,我跟脅本先生兩個人與GCA公司之間還有另外一層淵源。

那大概是1972年的事情??偛课挥诿绹ㄊ款D的半導體制造機械企業(yè)DBM公司的總經理來日本與我和脅本先生見了面。這家公司后來被GCA公司收購。雖然是步進機開發(fā)的核心內容,但當時我們還是對DBM公司總經理威爾先生透露了使用有尼康鏡頭的縮小投影型曝光設備(步進機)的研究理念。

步進機的構造,簡單說來就是與顯微鏡正好相反。顯微鏡是將微小的事物通過鏡頭放大以至可以用肉眼觀察、拍攝。而步進機則是將擴大畫好的電路圖通過鏡頭縮小,再刻入芯片。問題是,可以刻入的面積只有10毫米見方。因此需要一種技術能使芯片以步進狀移動、停止、曝光,進行刻入。這種精密的技術被叫做“分步重復”,而應用這種技術的設備被稱為“步進機”。

當時,威爾先生對這項技術沒有表現(xiàn)出太大的興趣,認為這種對位置和精度要求嚴格的機器不適于量產。但是在那次見面的四五年后,美國率先發(fā)布了步進機的研發(fā)成果。老實說,當聽到這個消息時我非常懊惱,但是回頭再想想,美國當時急速進步的工業(yè)控制技術也為步進機的問世提供了可能。

日本光學涉足步進機領域之后,GCA公司真的不再購買超顯微尼克爾鏡頭了。但是在那以后很短的時間內,我們便趕超了搶先我們一步發(fā)布步進機研發(fā)成果的GCA公司,我們的產品席卷了整個世界。這都是因為高解像力投影鏡頭、超精密高速移動臺、光電傳感器三項核心技術得到了顧客的一致好評。使用高科技含量產品采取正面進攻,是取得勝利的根本原因。

后來,在20世紀80年代,GCA公司的經營惡化,于1989年被美國電機企業(yè)通用信號(General Signal)收歸旗下,但依然未能擺脫業(yè)績低迷的狀態(tài),到1993年實際上已經退出了步進機領域。

對“光與微米”孜孜以求的尼康技術陣營,以自己的實力,在與業(yè)界先鋒軍美國企業(yè)的較量中大獲全勝。


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